[发明专利]一种新型独立式检选机

说明书

本发明公开了一种新型独立式检选机，包括检选机本体，所述检选机本体的表面设置有透气框，所述透气框固定在检选机本体的表面，所述透气框的内部开设有移杆槽，所述移杆槽的内部设置有移动杆，所述移动杆的两端均安装在移杆槽的内部，所述移动杆的表面开设有限位槽，所述限位槽的内部设置有限位杆；采用透气框、移动杆、限位槽和限位杆，移动杆通过移动使限位杆的两端在限位槽内部移动，同时移动杆的两端在移杆槽内部移动，增加透气框开合的便捷性，降低工人维护检选机的时间，提高检选机维护的便捷性，增加检选机工作的效率，采用限位块、定位槽、磁铁、固定槽、定位杆和定位块，限位块通过磁铁吸附在固定槽的内部。

技术领域

本发明属于晶圆检选设备技术领域，具体涉及一种新型独立式检选机。

背景技术

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之IC产品，晶圆检选机对8英寸和12英寸的晶圆进行筛分。现有的晶圆检选机在使用过过程中，检选机内部透气设备维护难度大，同时维护人员观察部件损坏情况耗费时间，增加检选机维护时间，降低晶圆检选机有效的工作时间，增加晶圆生产周期，提高晶圆生产成本的问题，为此我们提出一种新型独立式检选机。

发明内容

本发明的目的在于提供一种新型独立式检选机，以解决上述背景技术中提出的晶圆检选机在使用过过程中，检选机内部透气设备维护难度大，同时维护人员观察部件损坏情况耗费时间，增加检选机维护时间，降低晶圆检选机有效的工作时间，增加晶圆生产周期，提高晶圆生产成本的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种新型独立式检选机，包括检选机本体，所述检选机本体的表面设置有透气框，所述透气框固定在检选机本体的表面，所述透气框的内部开设有移杆槽，所述移杆槽的内部设置有移动杆，所述移动杆的两端均安装在移杆槽的内部，所述移动杆的表面开设有限位槽，所述限位槽的内部设置有限位杆。

优选的，所述限位杆为环形结构，所述限位杆的两端均固定在限位槽的内部，且所述限位杆两端的限位槽分别位于两根移动杆的表面。

优选的，所述移动杆的表面设置有拉杆，所述拉杆的一端固定在移动杆的表面，所述拉杆的一侧设置有限位块，所述限位块的一端固定在移动杆的表面，所述限位块的表面开设有定位槽，所述限位块的内部镶嵌设置有磁铁。

优选的，所述透气框上端的内部设置有固定槽，所述固定槽的内部设置有定位杆，所述定位杆的一端镶嵌在固定槽的内部，所述定位杆的另一端设置有定位块，所述定位块的一端固定在定位杆的一端，所述定位块的另一端贯穿固定槽的表面。

优选的，所述限位块和固定槽均为工字形结构，且所述限位块通过定位槽、磁铁、定位杆和定位块固定在固定槽的内部。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：采用透气框、移动杆、限位槽和限位杆，移动杆通过移动使限位杆的两端在限位槽内部移动，同时移动杆的两端在移杆槽内部移动，增加透气框开合的便捷性，降低工人维护检选机的时间，提高检选机维护的便捷性，增加检选机工作的效率，采用限位块、定位槽、磁铁、固定槽、定位杆和定位块，限位块通过磁铁吸附在固定槽的内部，同时定位杆通过外表面的弹簧使定位块镶嵌在定位槽的内部，增加限位块固定在固定槽内部的牢靠性，提高透气框闭合的稳定性。

附图说明

图1为本发明的检选机本体侧视结构示意图；

图2为本发明的检选机本体主视结构示意图；

图3为本发明的透气框闭合结构示意图；

图4为本发明的透气框打开结构示意图；

图5为本发明的移动杆、限位槽和限位杆放大结构示意图；

图6为本发明的移动杆、限位槽和限位杆剖面结构示意图；