[发明专利]一种可以实现单晶硅电火花弯孔加工的弯曲电极夹具

权利要求书

1.一种可以实现单晶硅电火花弯孔加工的弯曲电极夹具，包括工件夹具(3)、伸出端(4)、水槽(5)、U型槽(6)、电极夹具(7)、轴承座(9)、振动电机匣(10)、弹簧(11)，其特征在于：底板上开U型槽(6)便于螺钉将弯孔夹具整体与三维工作台固定。弯曲的电极(8)刚好能够卡在电极夹具(7)中。旋转轴上的伸出端(4)附加了一个延长机构，并在延长机构上面布置了一个振动电机，高频振动使得排屑效果更好，促进弯孔加工更为顺畅。

2.根据权利要求1所述的一种可以实现单晶硅电火花弯孔加工的弯曲电极夹具，其特征在于：需要加工出内部弯孔结构的单晶硅(2)样件放置于工件卡槽内，通过螺钉紧固，其中心位置与弯曲电极(8)旋转轨迹重合。

3.根据权利要求1所述的一种可以实现单晶硅电火花弯孔加工的弯曲电极夹具，其特征在于：该伸出端(4)与机床主轴相接触，随着机床主轴的纵向进给，带动旋转轴转动，进而实现弯曲电极(8)的进给运动。

4.根据权利要求1所述的一种可以实现单晶硅电火花弯孔加工的弯曲电极夹具，其特征在于：所述水槽(5)为加工过程中所要使用的工作液的储存区域，水槽(5)内通过布置水泵实现工作液的循环使用。

5.根据权利要求1所述的一种可以实现单晶硅电火花弯孔加工的弯曲电极夹具，其特征在于：所述电极夹具(7)开有与弯曲电极(8)相同弧度的浅槽并通过螺钉将弯曲电极(8)固定在浅槽中。

6.根据权利要求1所述的一种可以实现单晶硅电火花弯孔加工的弯曲电极夹具，其特征在于：根据加工所需的弯孔弧度进行弯曲电极(8)的制作，并刚好能够卡在电极夹具(7)中，保证在加工过程中电极(8)与电极夹具(7)间没有相对运动。

7.根据权利要求1所述的一种可以实现单晶硅电火花弯孔加工的弯曲电极夹具，其特征在于：所述的轴承座(9)起到支撑旋转轴的作用。

8.根据权利要求1所述的一种可以实现单晶硅电火花弯孔加工的弯曲电极夹具，其特征在于：所述的振动电机匣(10)位于旋转轴上的延长机构中，这里面会布置一个振动电机，高频振动使得排屑效果更好，促进弯孔加工更为顺畅。

9.根据权利要求1所述的一种可以实现单晶硅电火花弯孔加工的弯曲电极夹具，其特征在于：所述的弹簧(11)会在机床主轴回退时，使旋转轴在弹力作用下跟随回退，进而带动电极(8)回退。