[发明专利]轴向移动物体的线加速度测量装置

权利要求书

1.一种轴向移动物体的线加速度测量装置，其特征在于，该装置设有基座(10)，基座(10)内下部设有挠性摆片(20)，该挠性摆片(20)的上下表面都带有正电荷，在所述挠性摆片(20)的上下两侧分别设有上电极板(30)和下电极板(40)，该上电极板(30)和下电极板(40)上分别带有正、负电荷，所述基座(10)的顶部密封连接有上端盖(50)，基座(10)的下端密封连接有封胶座(60)，所述上电极板(30)和下电极板(40)上分别连接有电信号输入端子(71)和输出端子(72)，在基座(10)内上部设有带控制电路的电路板(80)，所述挠性摆片(20)、上电极板(30)及下电极板(40)分别与所述电路板(80)电连接，所述基座(10)底部设有对基座内抽真空的抽真空口(11)。

2.如权利要求1所述的轴向移动物体的线加速度测量装置，其特征在于，所述基座(10)为管状体，其由金属材料制成，基座(10)外表面设有固定被测物体用的凸沿(12)，该凸沿(12)上设有多个连接孔(121)，基座(10)底部设有固定下电极板(40)的环形台阶(13)，基座(10)底部设有向下延伸的凸台(14)。

3.如权利要求1所述的轴向移动物体的线加速度测量装置，其特征在于，所述挠性摆片(20)由微晶玻璃材料制成，其表面镀有金属导电膜。

4.如权利要求1所述的轴向移动物体的线加速度测量装置，其特征在于，所述上电极板(30)和下电极板(40)由微晶玻璃材料制成，其表面镀有金属导电膜。

5.如权利要求1所述的轴向移动物体的线加速度测量装置，其特征在于，所述上端盖(50)为金属材料制成的开口向下的杯状体，其顶部设有向外延伸的凸沿(51)，上端盖的凸沿(51)与所述基座(10)的上端面对合并焊接固定。

6.如权利要求1所述的轴向移动物体的线加速度测量装置，其特征在于，所述上电极板(30)、挠性摆片(20)及下电极板(40)由装在上电极板(30)上部的内压环(91)及外压环(92)压紧定位，其中，所述内压环(91)的下端设有凸沿(911)，在该凸沿(911)处装有外压环(92)，所述内压环(91)抵压在所述上电极板(30)上，外压环(92)抵压在内压环的凸沿(911)上，外压环(92)的上端与所述上端盖(50)的下端相接触。

7.如权利要求6所述的轴向移动物体的线加速度测量装置，其特征在于，所述电路板(80)固定在所述内压环(91)上部，其上的控制电路为伺服放大器，该伺服放大器(80A)分别与所述上电极板(30)、挠性摆片(20)及下电极板(40)电连接，其输出信号经所述电信号输出端子(72)输出到外部设备。

8.如权利要求1所述的轴向移动物体的线加速度测量装置，其特征在于，所述基座(10)的抽真空口(11)由封胶座(60)密封，该封胶座(60)与基座的凸台(14)螺纹连接，其与基座的抽真空口(11)之间填充有密封胶(61)。

9.如权利要求1至8中任一条所述的轴向移动物体的线加速度测量装置，其特征在于，该测量装置通过所述基座的凸沿(12)上的连接孔(121)与被测物体相连接，以测定轴向移动物体的线加速度。