[发明专利]能够提升背面光电转换效率的P型PERC双面太阳能电池及其制备方法在审
申请号: | 201810761379.6 | 申请日: | 2018-07-12 |
公开(公告)号: | CN108735829A | 公开(公告)日: | 2018-11-02 |
发明(设计)人: | 林纲正;方结彬;何达能;陈刚 | 申请(专利权)人: | 浙江爱旭太阳能科技有限公司;广东爱旭科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L31/0224 | 分类号: | H01L31/0224;H01L31/068;H01L31/18 |
代理公司: | 广州知友专利商标代理有限公司 44104 | 代理人: | 高文龙 |
地址: | 322000 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 铝栅 光电转换效率 太阳能电池 背面 副栅线 制备 双面太阳能电池 氮化硅膜 银主栅线 背电极 粗铝 栅线 氧化铝膜 依次设置 正银电极 产业化 激光槽 太阳光 线间隔 粗的 垂直 电池 吸收 | ||
1.能够提升背面光电转换效率的P型PERC双面太阳能电池,包括自下而上依次设置的背电极、背面氮化硅膜、背面氧化铝膜、P型硅、N型硅、正面氮化硅膜和正银电极,所述的正银电极由材料为银的正银主栅线和材料为银的正银副栅线组成,正银副栅线与正银主栅线相垂直,所述的背电极由材料为银的背银主栅线和材料为铝的背铝副栅线组成,背铝副栅线和背银主栅线相垂直,所述太阳能电池在背面还开设有开通所述背面氮化硅膜、背面氧化铝膜后直至P型硅的激光开槽区,激光开槽区内印刷灌注铝浆料,形成背铝条,背铝副栅线与激光开槽区内的背铝条一体印刷成型,背铝副栅线通过背铝条与P型硅相连,其特征在于:所述背铝副栅线由粗细不同的铝栅线间隔组成,其中,较粗的铝栅线为粗铝栅线,较细的铝栅线为细铝栅线,所述的粗铝栅线中间具有激光槽。
2.如权利要求1所述的能够提升背面光电转换效率的P型PERC双面太阳能电池,其特征在于:所述粗铝栅线的宽度范围为100~200um,所述细铝栅线的宽度范围为30~80um,所述的激光槽为长方形槽,激光槽的长度范围为1~80mm,宽度范围为10~80um。
3.如权利要求1所述的能够提升背面光电转换效率的P型PERC双面太阳能电池,其特征在于:所述背铝副栅线采用的铝浆为含有氟化物的可烧穿型铝浆。
4.如权利要求1至3任一项所述的能够提升背面光电转换效率的P型PERC双面太阳能电池,其特征在于:所述的背铝副栅线采用对称性图形或错开型图形。
5.如权利要求1至4任一项所述的能够提升背面光电转换效率的P型PERC双面太阳能电池的制备方法,其特征在于,该方法包括如下步骤:
(1)在硅片正面和背面形成绒面,所述硅片为P型硅;
(2)在所述硅片正面进行扩散,形成N型硅,即N型发射极;
(3)去除扩散过程形成的磷硅玻璃和周边PN结;
(4)对硅片背面进行抛光,形成高反射率的背表面;
(5)在硅片背面沉积背面氧化铝膜;
(6)在氧化铝膜的背面沉积背面氮化硅膜;
(7)在N型硅的正面沉积正面氮化硅膜;
(8)对硅片背面进行激光开槽,开通背面氮化硅膜、背面氧化铝膜后直至硅片,形成激光开槽区;
(9)在所述硅片背面采用丝网印刷来印刷背电极的背银主栅线,烘干;
(10)在激光开槽区内印刷铝浆料,形成背铝条,背铝条与背铝副栅线一体印刷成型,背铝副栅线由粗细不同的铝栅线间隔组成,其中,较粗的铝栅线为粗铝栅线,较细的铝栅线为细铝栅线,所述的粗铝栅线中间具有激光槽,烘干;
(11)在所述正面氮化硅膜的正面采用丝网印刷或喷墨方式刻蚀印刷正银电极浆料;
(12)对硅片进行高温烧结,形成背电极和正银电极;
(13)对硅片进行抗LID退火处理,制得P型PERC双面太阳能电池。
6.如权利要求5所述的能够提升背面光电转换效率的P型PERC双面太阳能电池的制备方法,其特征在于:所述步骤(12)中的高温烧结中的温度为780℃~820℃。
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