[发明专利]高精度烧录机有效

专利信息
申请号: 201810766936.3 申请日: 2018-07-13
公开(公告)号: CN110716588B 公开(公告)日: 2023-04-11
发明(设计)人: 桂义勇;曹杰 申请(专利权)人: 苏州永测电子有限公司
主分类号: G05D3/12 分类号: G05D3/12;H01L21/67
代理公司: 苏州科旭知识产权代理事务所(普通合伙) 32697 代理人: 王健
地址: 215000 江苏省苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 高精度 烧录机
【说明书】:

发明公开一种高精度烧录机,包括基板、X轴驱动机构、Y轴驱动机构、吸料机构和烧录机构,所述Y轴驱动机构设置于基板上表面,所述X轴驱动机构通过若干XY连接块与Y轴驱动机构安装连接并可以在Y轴方向上往复运动,所述吸杆与限位支架的上板之间通过一主动花键连接,所述吸杆与转角安装板的安装部之间通过一从动花键连接,所述气缸的活塞杆上固定安装有一浮动头,此校准机构进一步包括上相机和下相机,所述上相机安装于吸料机构上,所述下相机安装于基板上并与上相机面对面设置。本发明可提供吸杆在U轴方向上的运动,即旋转运动,可以对芯片进行旋转微调,进一步提高对芯片的定位精度,从而保证烧录精度。

技术领域

本发明涉及芯片烧录技术领域,尤其涉及高精度烧录机。

背景技术

芯片是目前电子行业中比较常用的电子元件,其有多个制作流程。烧录是制造芯片制造中的其中一个工序,烧录时需要把控烧录的点位,因此,芯片烧录这一工序中,对芯片安放的位置精度有很高的要求。现有的芯片烧录有通过人工完成的,也有通过烧录装置完成,但是现在的芯片烧录装置的结构都比较复杂以及工序较多,仍然需要更多的人手去参与,工作效率较低。

发明内容

本发明的目的是提供一种高精度烧录机,该高精度烧录机可提供吸杆在U轴方向上的运动,即旋转运动,可以对芯片进行旋转微调,进一步提高对芯片的定位精度,从而保证烧录精度。

为达到上述目的,本发明采用的技术方案是:一种高精度烧录机,包括基板、X轴驱动机构、Y轴驱动机构、吸料机构和烧录机构,所述Y轴驱动机构设置于基板上表面,所述X轴驱动机构通过若干XY连接块与Y轴驱动机构安装连接并可以在Y轴方向上往复运动,所述吸料机构通过XZ连接块活动安装于X轴驱动机构上并可以沿X轴方向往复运动,所述烧录机构安装于基板上并位于吸料机构下方;

所述Y轴驱动机构进一步包括Y轴电机、与Y轴电机连接的Y轴丝杆、至少一个Y轴滑轨和活动安装于Y轴滑轨上的若干Y轴滑块,所述X轴驱动机构通过若干XY连接块与Y轴滑块固定连接,所述Y轴丝杆上套装有一Y轴螺母,此Y轴螺母通过一Y轴锁块与X轴驱动机构固定连接;

所述X轴驱动机构进一步包括X轴电机、与X轴电机连接的X轴丝杆、X轴安装板、若干X轴滑轨和活动安装于X轴滑轨上的若干X轴滑块,此X轴滑块与XZ连接块安装连接,所述X轴丝杆通过至少两个X轴承座安装于X轴安装板上,所述X轴丝杆安装于X轴安装板上并与X轴丝杆平行设置,所述X轴丝杆上套装有X轴螺母,此X轴螺母通过一X轴锁块与XZ连接块安装连接;

所述吸料机构进一步包括与XZ连接块安装固定的安装板、若干第一电机和若干吸杆,所述若干第一电机分别安装于一电机固定板上,此电机固定板安装于安装板后表面上部,所述第一电机的输出轴分别穿过电机固定板且第一电机的输出轴末端分别安装有第一驱动轮,此第一驱动轮下方分别安装有一第一从动轮,所述第一驱动轮与第一从动轮之间连接有第一皮带,所述若干吸杆分别通过一转角安装板与第一皮带安装固定;

所述转角安装板进一步包括两两垂直设置的锁接部、连接部和安装部,所述连接部的一侧与锁接部连接,所述连接部的下部与安装部连接,所述锁接部穿过安装板并与第一皮带的一侧表面接触,并与设置于第一皮带另一侧的齿形块锁紧固定,所述安装板前表面安装有与转角安装板对应的滑轨,所述连接部与安装板平行设置且连接部靠近安装板的一侧表面开有供滑轨嵌入的滑槽,所述安装部上开有一通孔,所述吸杆穿过通孔并与安装部安装连接;

所述安装板下部安装有一电机支架,此电机支架上设置有若干与吸杆对应的第二电机,此第二电机的旋转轴上分别连接有一第二驱动轮,所述吸杆下部套装有与第二驱动轮对应的第二从动轮,所述第二驱动轮和第二从动轮通过一第二皮带传动连接;

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