[发明专利]带电粒子束装置、带电粒子束支配装置和操作带电粒子束装置的方法

权利要求书

1.一种带电粒子束装置(200)，包括：

束源(110)，被配置成产生沿着光轴(A)传播的带电粒子束(105)；

具有第一数量的孔径(125)的孔径装置(220)，被配置成从所述带电粒子束(105)形成第一数量的小束(135)，其中所述第一数量为5或更多，并且其中所述孔径(125)围绕所述光轴(A)布置在环线(126)上，使得投射于所述环线(126)的切线(136)上的所述孔径(125)的垂线(128)均匀地间隔开，并且两个相邻垂线(128)之间的距离(D1，D2)对应于所述环线(126)的直径除以所述第一数量减1；

静电多极装置(250)，包括多个静电多极(151)，所述多个静电多极被配置成单独地支配所述第一数量的小束(135)，其中所述孔径装置(220)包括基板(221)，在所述基板上形成所述多个静电多极(151)，所述多个静电多极包括分别布置在所述孔径装置的相关联的孔径下游的四个、六个、八个或更多个电极；和

扫描装置(140)，被配置成用于在第一扫描方向(X)上沿着均匀地间隔的扫描线将所述小束扫描过样本(10)。

2.如权利要求1所述的带电粒子束装置，其中所述静电多极装置(250)和所述孔径装置(220)一体地形成。

3.如权利要求1所述的带电粒子束装置，其中所述四个、六个、八个或更多个电极分别地相对于相关联的孔径的中心以均匀地间隔的角位置布置。

4.如权利要求1所述的带电粒子束装置，其中所述扫描装置(140)被配置成通过沿着所述均匀地间隔的扫描线在所述第一扫描方向(X)上交替地扫描并在第二横向扫描方向上移动所述小束(135)来将所述小束(135)光栅扫描过所述样本(10)。

5.如权利要求1至2中任一项所述的带电粒子束装置，其中所述静电多极装置(250)被配置成使所述小束(135)偏转，使得所述小束中的每个看起来是来自不同的源。

6.如权利要求5所述的带电粒子束装置，其中所述静电多极装置(250)包括用于所述小束中的每个的单独的偏转器。

7.如权利要求1至2中任一项所述的带电粒子束装置，进一步包括：

物镜(190)，被配置成将所述小束(135)聚焦到样本(10)上；和

检测器装置(180)，被配置成检测从所述样本(10)发射的次级带电粒子和/或后向散射带电粒子。

8.如权利要求7所述的带电粒子束装置，其中所述物镜(190)是包括磁性透镜部分和静电透镜部分的组合的磁性-静电物镜。

9.一种带电粒子束装置(200)，包括：

具有第一数量的孔径(125)的孔径装置(220)，被配置成从沿着光轴(A)传播的带电粒子束形成第一数量的小束(135)，其中所述第一数量为5或更大，其中所述孔径(125)围绕所述光轴(A)布置在环线(126)上，使得投射于所述环线(126)的切线(136)上的所述孔径(125)的垂线(128)均匀地间隔开，并且两个相邻垂线(128)之间的距离(D1，D2)对应于所述环线(126)的直径除以所述第一数量减1；

静电多极装置(250)，与所述孔径装置(220)整合在一起，并且包括多个静电多极(151)，所述多个静电多极被配置成用于单独地支配所述第一数量的小束(135)，其中所述孔径装置(220)包括基板(221)，在所述基板上形成所述静电多极装置(250)的所述多个静电多极，所述多个静电多极包括分别布置在所述孔径装置的相关联的孔径下游的四个、六个、八个或更多个电极；和

扫描装置(140)，被配置成用于在第一扫描方向(X)上沿着均匀地间隔的扫描线将所述小束扫描过样本(10)。