[发明专利]一种模式转换一维线阵压电元件及其制备方法

权利要求书

1.一种模式转换一维线阵压电元件制备方法，其特征在于，所述方法包括：

在长方体形状的第一压电材料的一个大面和四个侧面敷设电极以及第二压电材料的一个大面和四个侧面敷设电极，所述大面为与所述四个侧面均共棱的面，所述第一压电材料的大面与所述第二压电材料的大面全等，所述大面的电极和侧面的电极互连互通；

采用粘接剂将所述敷设了电极的第一压电材料的大面与敷设了电极的第二压电材料的大面粘接在一起以形成第三压电材料；

以每次不小于目标压电元件的厚度的切割深度，从所述第三压电材料没有敷设电极的两面中任何一面下刀切割所述第三压电材料形成若干间距相等的槽；

灌入去耦合材料至所述槽中；

待所述槽中的去耦合材料凝固后，研磨所述第三压电材料没有敷设电极的大面，直至所述第三压电材料的厚度与所述目标压电元件的厚度相同以及所述第一压电材料的厚度和第二压电材料的厚度相同为止；

对所述研磨后的第三压电材料没有敷设电极的两大面敷设电极并去除所述第三压电材料四个侧面中任意三个侧面的电极而保留剩下一个侧面敷设的电极以形成第四压电材料；

沿着所述第三压电材料两大面的每个槽切割所述去耦合材料，以在每份去耦合材料中形成一条第一电极隔断槽，在靠近所述第四压电材料的侧面电极之处以垂直于所述第一电极隔断槽的方向切割所述第四压电材料的两大面以形成两条第二电极隔断槽，所述第四压电材料两大面敷设、被所述第一电极隔断槽和第二电极隔断槽隔断并且没有与所述第四压电材料的侧面电极连接的电极部分为信号源电极，所述第四压电材料两大面敷设、被所述第一电极隔断槽和第二电极隔断槽隔断并且与所述第四压电材料的侧面电极连接的电极部分以及所述第四压电材料的侧面电极一起为接地电极；

所述信号源电极与信号源连接，所述接地电极接地。

2.如权利要求1所述的模式转换一维线阵压电元件制备方法，其特征在于，在所述大面和四个侧面敷设电极之前，对所述第一压电材料的一个大面和四个侧面形成的四个角以及第二压电材料的一个大面和四个侧面形成的四个角做倒角处理。

3.如权利要求1所述的模式转换一维线阵压电元件制备方法，其特征在于，所述去耦合材料为环氧树脂。

4.如权利要求1所述的模式转换一维线阵压电元件制备方法，其特征在于，所述粘接剂为导电胶或非导电胶。

5.如权利要求1至4任意一项所述的模式转换一维线阵压电元件制备方法，其特征在于，所述第一压电材料的厚度大于所述第二压电材料的厚度。

6.如权利要求1至4任意一项所述的模式转换一维线阵压电元件制备方法，其特征在于，所述第一压电材料或第二压电材料为压电陶瓷、无铅压电陶瓷、单晶材料、以及由压电材料或单晶材料与高分子材料制备出复合材料中的任意一种材料。