[发明专利]磁传感器试验装置

说明书

本发明提供一种磁传感器试验装置，所述磁传感器试验装置能够防止由于向磁传感器施加的热量，电磁铁的性能发生大的变化。在磁传感器试验装置中，具备向磁传感器施加磁场的电磁铁(50)、(60)、向磁传感器局部施加热量来调整磁传感器的温度的调温器(30)、(40)、以及控制电磁铁(50)、(60)及调温器(30)、(40)的控制部，在由调温器(30)、(40)向磁传感器施加热量的同时并由电磁铁(50)、(60)向磁传感器施加了磁场的状态下，控制部对磁传感器进行试验。

技术领域

本发明涉及一种磁传感器试验装置。

背景技术

对磁阻效应元件施加磁场并对该磁阻效应元件供给规定的电流来评价该磁阻效应元件的特性的磁阻效应元件的评价装置已为人所知。该评价装置由载置评价对象即磁阻效应元件的载置台、对载置于该载置台的磁阻效应元件施加规定的磁场的磁力产生单元、珀耳帖元件以及经由导热体与珀耳帖元件的一主面连接的调温器构成。而且，珀耳帖元件以珀耳帖元件的主面与载置台的载置面接触的方式进行配设(例如，参照专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平11-339232号公报

发明内容

发明所要解决的课题

专利文献1记载的评价装置中，在与珀耳帖元件的主面接触的载置台之上，配设有磁阻效应元件和磁力产生单元。因此，在使用珀耳帖元件向磁阻元件施加了热量的情况下，热量蔓延到载置面，磁力产生单元的温度升高，存在磁力产生单元中所包含的电磁铁的性能发生大的变化的可能性。

本发明要解决的课题是提供一种磁传感器试验装置，所述磁传感器试验装置能够防止由于向磁传感器施加的热量，电磁铁的性能发生大的变化。

用于解决课题的技术方案

[1]本发明所涉及的磁传感器试验装置具备：电磁铁，其向磁传感器施加磁场；调温器，其向所述磁传感器局部施加热量，并调整所述磁传感器的温度；以及控制部，其控制所述电磁铁及所述调温器，在由所述调温器向所述磁传感器施加热量的同时并由所述电磁铁向所述磁传感器施加了所述磁场的状态下，所述控制部对所述磁传感器进行试验。

[2]上述方案中，控制部可以在使所述热量及所述磁场发生了变化的状态下，对所述磁传感器进行试验。

[3]上述方案中，调温器可以具有供第一冷媒流动的第一流路和供与所述第一冷媒温度不同的第二冷媒流动的第二流路，控制部可以通过控制所述第一冷媒和所述第二冷媒的混合比，设定所述磁传感器的温度。

[4]上述方案中，调温器可以向所述磁传感器的主面施加热量，电磁铁可以设置于所述磁传感器的主面的周围。

[5]上述方案中，磁传感器试验装置可以具备与磁传感器连接的插座，多个所述插座可以分别具有与所述磁传感器电连接的连接面，并以各连接面在平面上排列的方式配置，调温器可以从所述连接面的上方或下方朝向所述磁传感器施加热量。

[6]上述方案中，调温器可以与所述磁传感器的主面接触。

[7]上述方案中，电磁铁可以具有铁芯、卷绕于所述铁芯的主线圈以及用于校正所述磁场的校正用线圈。

[8]上述方案中，磁传感器试验装置可以具备测定磁场的磁场测定用传感器，控制部可以基于由所述磁场测定用传感器测定的磁场控制向所述校正用线圈的输入电流。

[9]上述方案中，控制部可以根据由磁场测定用传感器测定的磁场控制向所述校正用线圈的输入电流脉冲。

发明效果