[发明专利]一种多功能电镀阳极喷管

说明书

本发明提供一种多功能电镀阳极喷管，包括管型结构的喷管体，所述喷管体的一端连接有空心的喷管接头，所述喷管接头的外端为药水进药口，所述喷管体的另一端连接有喷管堵头，所述喷管接头与喷管堵头之间的喷管体上设有若干个大小相同分布均匀的喷流孔。本发明多功能电镀阳极喷管具有结构简单、体积小、安装方便、电镀均匀性好、可靠性高以及良率高等优点。

技术领域

本发明涉及电镀装置中的镀铜技术领域，具体为一种多功能电镀阳极喷管。

背景技术

镀铜均匀性是电镀中的重要考量因素之一，在实际生产中起到重要的作用，而药水喷射不均匀、电流分布不均等均是影响镀铜均匀性的主要原因。

在传统镀铜工艺中，电镀槽均采用阳极钛网和普通喷淋管组成的，这样造成安装困难，需要空间大，而且钛网电缆靠近槽体，易被腐蚀，可靠性底，维护困难。

如公告号为CN205917341U，发明创造名称为一种电镀均匀的电镀槽的专利申请，其提供一种电镀均匀的电镀槽，包括槽体、阳极杆以及位于槽体内的阴极板、钛网、挡板和喷管，所述阴极板、钛网、挡板、喷管均和槽体的侧壁平行设置，所述阴极板和阳极杆平行设置，所述槽体的槽口处设有用于导电的夹具，所述夹具 设有多个间距均匀的夹点，所述夹具通过夹点夹持阴极板，使板所述夹具与传动轴连接，所述槽 体内固定设有两组喷管组，所述两组喷管组分别位于阴极板的两侧，所述两组喷管组分别包括多根间距均匀的喷管，所述喷管上设有多个间距均匀的喷嘴，所述槽体的槽口横设有两根导电的阳极杆，所述两根阳极杆分别位于阴极板的两侧，所述钛网挂设在阳极杆上，所述喷管位于钛网和阴极板之间，所述喷管和钛网之间设有挡板，所述挡板通过调节绳悬设于槽体中，所述挡板与阴极板的下端相对设置。该电镀槽虽然能够在一定程度上实现了电镀均匀，但是结构复杂，需要空间大，增加了生产成本。

发明内容

本发明提供了一种高性能多功能电镀阳极喷管，所述喷管将传统钛网与喷淋管整合制成一体结构喷管，其具有体积小、安装方便、减少药液流动阻碍、电流分布均匀、电镀均匀性能好等优点。

本发明可以通过以下技术方案来实现：

一种多功能电镀阳极喷管，包括管型结构的喷管体，所述喷管体的一端连接有空心的喷管接头，所述喷管接头的外端为药水进药口，所述喷管体的另一端连接有喷管堵头，所述喷管接头与喷管堵头之间的喷管体上设有若干个大小相同分布均匀的喷流孔。本发明多功能电镀阳极喷管主要由管型结构的喷管体，分别连接在喷管体两端的喷管接头和喷管堵头，以及设置在喷管体的喷流孔构成，其结构简单，体积小，安装方便；本发明采用管型结构的喷管体，并在喷管体上设置喷流孔，以代替传统的钛网加喷淋管的结构组合，其管型结构有效提升了喷管体的机械强度，不易磨损，有效的提高使用寿命，提高维护的方便性；管型结构的喷管体，与空心的喷管接头连接，当药水从喷管接头上的药水进药口进入喷管体后，其药水流动阻碍小，流动顺畅；采用在管型结构的喷管体上设置若干个用于药水循环的喷流孔，其有效提高药水的均匀性50%以上，提高药水穿孔能力50%以上、电镀深度能力40%以上以及电镀的均匀性30%以上。

进一步地，所述喷管体上设有一段呈内凹的平直段，所述喷流孔设置在所述平直段上。平直段的设置，更接近于传统钛网结构，更好地将传统钛网结构与喷淋管结构整合为一体成型结构，确保电镀性能。

进一步地，所述平直段位于喷管体的一端。

进一步地，所述喷流孔位于平直段上，呈上下两排交错分布。进一步确保药水循环的均匀性和药水的穿孔能力，进而进一步确保电镀能力，提升电镀均匀性。

进一步地，所述喷流孔孔径为0.3mm～1.0mm。便于药水穿通和通过，同时又能避免因药水穿通过多引起电镀瑕疵，提高电镀质量。

进一步地，相邻喷流孔孔间距为3mm～6mm。一方面确保各喷流孔间的基材强度，另一方面确保喷流孔的设置，进而确保药水的穿孔。