[发明专利]一种用于封装半导体元件用的烤箱及其使用方法在审

专利信息
申请号: 201810777963.0 申请日: 2018-07-16
公开(公告)号: CN108955114A 公开(公告)日: 2018-12-07
发明(设计)人: 张建军;卢维明 申请(专利权)人: 江苏宝浦莱半导体有限公司
主分类号: F26B9/06 分类号: F26B9/06;F26B23/00;H01L21/67
代理公司: 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 代理人: 冯子玲
地址: 223800 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 半导体元件 低温烤箱 高温烤箱 烘烤部 封装半导体元件 烤箱 弹性单元 便于移动 封装过程 封装效率 减震性能 传统的 万向轮 烘烤 分层 落尘 封装 对称 驱动 采购 节约 污染 保证
【权利要求书】:

1.一种用于封装半导体元件用的烤箱,包括烘烤部(1),其特征在于:所述烘烤部(1)的上部设有驱动部(2),且烘烤部(1)的底部对称设有四组弹性单元(3),四组所述弹性单元(3)的底部均安装有万向轮(14);

所述烘烤部(1)包括箱体(4)和箱门(13),所述箱门(13)的一端通过铰链铰接在箱体(4)的前部一侧,且箱门(13)的另一端居中焊接有铁片(11),所述箱体(4)的前部还固定安装有用于吸附铁片(11)的电磁铁(10),所述箱体(4)的前部还设有触摸屏(6)、电源开关(7)和控制开关(8),且箱体(4)内部的上方和下方对称设有两组加热单元(26),所述箱体(4)的内部还开设有安装槽(24),所述安装槽(24)的内部安装有稳压电源(25),所述箱体(4)的内顶壁底部固定安装有第一检测传感器(17),且箱体(4)的内底壁上部固定安装有第二检测传感器(28),所述箱体(4)的内部对称通过滚动轴承安装有两个竖直设置的丝杆(19),两个所述丝杆(19)之间通过丝杠螺母(29)安装有放置架(27),所述放置架(27)的内部对称设有两组卡槽(30),两组所述卡槽(30)的内部均卡接有支撑板(31),所述支撑板(31)的上表面上均匀开设有若干凹槽(32);

所述驱动部(2)包括固定安装在箱体(4)顶部的机箱(5),所述机箱(5)的内部固定安装有减速电机(16)和PLC控制器(18),所述减速电机(16)的输出轴端部固定安装有主动皮带轮(23),且减速电机(16)的电控端通过导线与PLC控制器(18)的控制输出端电性连接;

两个所述丝杆(19)的上端均伸入机箱(5)的内部与设置在机箱(5)内部的从动皮带轮(20)固定连接,所述从动皮带轮(20)通过皮带(21)与主动皮带轮(23)传动连接,所述稳压电源(25)通过导线分别与电磁铁(10)、两组加热单元(26)、减速电机(16)和PLC控制器(18)电性连接,所述电源开关(7)和稳压电源(25)串联连接,所述控制开关(8)串接在稳压电源(25)和电磁铁(10)之间,所述触摸屏(6)通过数据线与PLC控制器(18)双向电性连接,两组所述加热单元(26)的电控端均通过导线与PLC控制器(18)的控制输出端电性连接,所述第一检测传感器(17)和第二检测传感器(28)的信号输出端均通过信号线与PLC控制器(18)的信号输入端电性连接。

2.根据权利要求1所述的一种用于封装半导体元件用的烤箱,其特征在于:所述箱体(4)的前部还设有急停开关(9),所述急停开关(9)串接在稳压电源(25)与减速电机(16)之间。

3.根据权利要求1所述的一种用于封装半导体元件用的烤箱,其特征在于:所述箱门(13)的内侧面上固定安装有表面涂覆有一层铝膜的热能反射板(15)。

4.根据权利要求1所述的一种用于封装半导体元件用的烤箱,其特征在于:所述万向轮(14)均为自锁式万向轮。

5.根据权利要求1所述的一种用于封装半导体元件用的烤箱,其特征在于:所述机箱(5)的顶壁上居中镶嵌有排风扇(22),所述排风扇(22)的电控端通过导线与PLC控制器(18)的控制输出端电性连接。

6.根据权利要求1所述的一种用于封装半导体元件用的烤箱,其特征在于:两组所述加热单元(26)均包括三个分别安装在箱体(4)内部后壁上和两侧壁上的电加热板。

7.根据权利要求1所述的一种用于封装半导体元件用的烤箱,其特征在于:所述箱门(13)的外部一侧设有把手(12),所述把手(12)的外部套设有耐高温橡胶套。

8.根据权利要求1所述的一种用于封装半导体元件用的烤箱,其特征在于:所述PLC控制器(18)的型号为6ES72350KD220XA8。

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