[发明专利]一种自净化型显影液组合物及其制备方法及使用其的显影方法

权利要求书

1.一种显影液组合物，其特征在于，所述显影液组合物包括相对重量百分比如下的各组分：无机碱：85-95％，磺酸盐型阴离子表面活性剂：2.2-7.5％，消泡剂：2-4％，抑制剂：0.8-3.5％，溶剂为去离子水，无机碱的浓度为8-12g/L。

2.根据权利要求1所述的显影液组合物，其特征在于，所述显影液组合物包括相对重量百分比如下的各组分：无机碱：88-92％，磺酸盐型阴离子表面活性剂：3.5-5.5％，消泡剂：2.5-3.5％，抑制剂：2-3％，溶剂为去离子水，无机碱的浓度为10-11g/L。

3.根据权利要求1所述的显影液组合物，其特征在于，所述无机碱选自碳酸钠、碳酸钾、碳酸氢钠、碳酸氢钾、氢氧化钠和氢氧化钾中的至少一种。

4.根据权利要求1所述的显影液组合物，其特征在于，所述磺酸盐型阴离子表面活性剂选自烷基苯磺酸盐、α-烯烃磺酸盐、烷基磺酸盐、α-磺基单羧酸酯、脂肪酸磺烷基酯中的至少一种。

5.根据权利要求1所述的显影液组合物，其特征在于，所述消泡剂选自聚氧丙烯聚氧乙烯甘油醚、聚二甲基硅氧烷、乳化硅油中的至少一种。

6.根据权利要求1所述的显影液组合物，其特征在于，所述抑制剂为乙二酸、柠檬酸中的至少一种。

7.根据权利要求1所述的显影液组合物，其特征在于，所述显影液还包括水溶性有机溶剂，所述水溶性有机溶剂与去离子水的体积比为0.05:1-0.2:1。

8.根据权利要求7所述的显影液组合物，其特征在于，所述水溶性有机溶剂为水溶性醇、醇醚类化合物、酰胺类化合物、丙酮、N-甲基吡咯烷酮、N-乙基吡咯烷酮中的至少一种。

9.一种如权利要求1-8任一所述显影液组合物的制备方法，包括如下步骤：将权利要求1-8任一所述组分混匀，得到所述显影液组合物。

10.一种显影方法，其特征在于，使显影对象物与权利要求1-8中任一项所述的显影液组合物接触。