[发明专利]一种绝缘材料管道内壁镀膜装置

说明书

本发明公开了一种绝缘材料管道内壁镀膜装置。所述装置包括：二级溅射电极和旋转设备；二级溅射电极的阴极靶材沿轴向穿设在待镀膜绝缘材料管道内，旋转设备与待镀膜绝缘材料管道的一端固定连接；二级溅射电极与旋转设备均设置在真空设备内，真空设备用于使装置处于真空环境。本发明适用于对小尺寸内径的绝缘材料管道内壁进行镀膜，且镀膜膜层厚度均匀、结合力一致。

技术领域

本发明涉及镀膜技术领域，特别是涉及一种绝缘材料管道内壁镀膜装置。

背景技术

管筒件内壁表面处理一直都是等离子体表面改性的难题，特别是内径较细、长径比较大及变径的管件，等离子体难以进入管件，因而处理难度较大。目前，管内壁镀膜技术是采用电弧离子镀加电磁线圈装置组成的内壁镀膜方式，主要应用于金属大内径管镀膜。现有的管内壁镀膜技术主要针对金属管道内壁进行表面处理，采用的方式均为从管口一侧向另外一侧进行离子覆膜，在管内壁进口处膜层处理比较快，厚度为最厚，在管道内壁逐渐向管内延伸，厚度逐渐减薄，这样就导致镀膜膜层厚度不均匀，结合力难以保障一致性。

发明内容

基于此，有必要提供一种针对小尺寸内径的绝缘材料管道内壁，且镀膜膜层厚度均匀的绝缘材料管道内壁镀膜装置。

为实现上述目的，本发明提供了如下方案：

一种绝缘材料管道内壁镀膜装置，包括：二级溅射电极和旋转设备；所述二级溅射电极的阴极靶材沿轴向穿设在待镀膜绝缘材料管道内，所述旋转设备与所述待镀膜绝缘材料管道的一端固定连接；所述二级溅射电极与所述旋转设备均设置在真空设备内，所述真空设备用于使所述装置处于真空环境。

可选的，所述旋转设备包括调速电机、主传动齿轮和从传动齿轮；所述调速电机的密封传动轴上设置所述主传动齿轮，所述从传动齿轮与所述主传动齿轮对应设置；所述二级溅射电极沿轴向穿设在所述主传动齿轮的中央位置，所述从传动齿轮与所述待镀膜绝缘材料管道的一端固定连接；所述从传动齿轮、所述二级溅射电极和所述待镀膜绝缘材料管道同轴设置；所述从传动齿轮、所述二级溅射电极和所述调速电机均与真空设备的底板固定。

可选的，所述装置还包括主传动轴承；所述主传动轴承与所述主传动齿轮固定连接，用于对所述主传动齿轮进行支撑和定位。

可选的，所述装置还包括绝缘支撑座，所述绝缘支撑座与所述主传动轴承固定连接，用于对所述主传动轴承进行支撑和定位。

可选的，所述装置还包括绝缘板，所述绝缘板分别与所述绝缘支撑座和所述底板固定，用于使所述绝缘支撑座和所述真空设备之间绝缘。

可选的，所述绝缘板分别与所述绝缘支撑座和所述底板通过螺钉固定。

可选的，所述二级溅射电极穿过所述绝缘板的中心，且与所述底板通过螺钉固定。

可选的，所述装置还包括电压源；所述二级溅射电极的阴极靶材与所述电压源连接，所述电压源的电压大于2000V。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：

本发明提出了一种绝缘材料管道内壁镀膜装置，所述装置包括：二级溅射电极和旋转设备；二级溅射电极的阴极靶材沿轴向穿设在待镀膜绝缘材料管道内，旋转设备与待镀膜绝缘材料管道的一端固定连接；二级溅射电极与旋转设备均设置在真空设备内，真空设备用于使装置处于真空环境。该绝缘材料管道内壁镀膜装置中的旋转装置带动待镀膜绝缘材料管道进行旋转运动，在真空设备内通入惰性工作气体氩气后，会激发二级溅射电极的阴极靶材溅射原子，该原子沉积到旋转的待镀膜绝缘材料管道的内壁上，即形成膜层。该绝缘材料管道内壁镀膜装置可以在内径小于50㎜，长度大于100㎜的绝缘材料管道内壁上沉积一层厚度均匀、结合力一致的致密膜层。

附图说明