[发明专利]一种兼具大小尺寸的晶圆吸嘴组件

权利要求书

1.一种兼具大小尺寸的晶圆吸嘴组件，其特征在于：包括堵气块以及吸嘴帽，其中吸嘴帽上表面圆周等间隔设有内外两圈吸气孔，且内圈吸气孔的直径小于外圈吸气孔的直径，而吸嘴帽侧壁设有吸气口连接抽真空设备，所述堵气块上表面设有内外两圈多个堵气柱，其位置及直径尺寸与吸嘴头上的吸气口一致，且外圈堵气柱的高度以及直径大于内圈堵气柱，所述堵气块插装在吸嘴帽内并在上方形成负压腔，同时堵气块可在吸嘴帽内上下移动使得外圈堵气柱卡入或脱离吸气孔，从而调节吸嘴帽表面吸附尺寸，适应不同直径的晶圆吸附；

所述吸嘴帽与堵气块滑动配合，在堵气块侧壁上设有多条滑槽，且滑槽连通至堵气块上表面，而吸嘴帽内壁上对应设有滑块，使得吸嘴帽通过滑块卡入滑槽实现上下滑动；

所述堵气块内部具有螺纹孔延伸至堵气块底面，且螺纹孔内装有丝杆，而丝杆端部连接电机，电机驱动丝杆转动，从而使得堵气块上下直线移动。

2.根据权利要求1所述的兼具大小尺寸的晶圆吸嘴组件，其特征在于：所述吸嘴帽内壁具有环形槽，内部嵌装有O型圈。