[发明专利]低角度漂移的多带通滤光片在审
| 申请号： | 201810790560.X | 申请日： | 2018-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN110737038A | 公开（公告）日： | 2020-01-31 |
| 发明（设计）人： | 刘哲;于光龙;李昱;苏炎;林志强 | 申请（专利权）人： | 福州高意光学有限公司 |
| 主分类号： | G02B5/20 | 分类号： | G02B5/20;G02B5/28;G06K9/00 |
| 代理公司： | 35211 福州君诚知识产权代理有限公司 | 代理人： | 戴雨君 |
| 地址： | 350000 福建省福州*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 高折射率膜层 带通滤光片 波长 漂移 低折射率膜层 生物识别系统 光学系统 交替堆叠 角度偏移 混合物 信噪比 折射率 准确率 膜系 应用 | ||
【权利要求书】：
1.低角度漂移的多带通滤光片，其在800-1600nm波长范围具有大于或等于两个不互相重叠的通带，和大于或等于两个中心波长，其包括基片，基片上具有由多个高折射率膜层和多个低折射率膜层交替堆叠而成的膜系，其特征在于：高折射率膜层材料为SiH、SiOxHy或SiH与SiOxHy的混合物，高折射率膜层在800nm至1600nm波长范围内折射率均大于3；其每个通带都具有中心波长，在入射角由0度改变至30度时，所述每个通带的中心波长的角度偏移量小于20nm。
2.根据权利要求1所述的低角度漂移的多带通滤光片，其特征在于：所述基片的材料为硅材料或基于二氧化硅材料的玻璃材料、有色玻璃或塑料。
3.根据权利要求1所述的低角度漂移的多带通滤光片，其特征在于：每个高折射率材料膜层的在800-1600nm的波长范围内折射率大于3.35。
4.根据权利要求1所述的低角度漂移的多带通滤光片，其特征在于：所述低折射率膜层的材料为TiO2、Nb2O5、Ta2O5、SiO2、SixNy的一种或两种以上的混合物组成。
5.根据权利要求1所述的低角度漂移的多带通滤光片，其特征在于：其在800-1100nm波长范围具有两个不互相重叠的通带，其两个通带对应的中心波长在入射角由0度改变至30度时，中心波长的角度偏移量均小于12nm。
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