[发明专利]调节机构、微透镜阵列系统及曝光机在审

专利信息
申请号: 201810791976.3 申请日: 2018-07-18
公开(公告)号: CN108919454A 公开(公告)日: 2018-11-30
发明(设计)人: 汪孝军;徐珍华 申请(专利权)人: 中山新诺科技股份有限公司
主分类号: G02B7/02 分类号: G02B7/02;G03F7/20
代理公司: 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 代理人: 曾旻辉
地址: 528437 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 微透镜阵列 第一安装座 曝光机 曝光组件 抵压 伸入 技术效果 可伸缩地 图形曝光 像素阵列 点阵列 伸缩 凹面 移动
【权利要求书】:

1.一种调节机构,其特征在于,包括:

调节箱,所述调节箱设有第一通窗;

第一安装座,所述第一安装座设于所述调节箱内、并用于安装微透镜阵列,所述微透镜阵列与所述第一通窗对应设置;及

调节件,所述调节件的一端伸入所述调节箱,所述调节件呈间距设有多个、并呈可伸缩地设于所述调节箱的外侧,所述调节件伸缩、并抵压所述第一安装座、使所述第一安装座在第一方向和第二方向进行移动;

所述调节件包括第一调节件和第二调节件,所述第一调节件设有多个、并分别设于所述调节箱相对设置的第一侧和第二侧,所述第二调节件设有多个、并分别设于所述调节箱相对设置的第三侧和第四侧;

所述调节机构还包括第一保护片和第二保护片,所述第一保护片设有两个并分别设在所述第一安装座的第一侧和第二侧,所述第二保护片设有两个并分别设在所述第一安装座的第三侧和第四侧,所述第一保护片和所述第二保护片环绕所述第一安装座的外侧设置;

所述第一调节件设有四个,其中的两个所述第一调节件抵压一个所述第一保护片,其中的另外两个所述第一调节件抵压另一个所述第一保护片,以使所述第一保护片抵压所述第一安装座活动;所述第二调节件设有两个,其中的一个所述第二调节件抵压一个所述第二保护片,其中的另一个所述第二调节件抵压所述第二保护片,以使所述第二保护片抵压所述第一安装座活动;

所述第一保护片的两端设有第一配合槽,所述第二保护片的两端设有第一配合条,所述第一保护片移动时所述第一配合槽的槽壁沿所述第一配合条移动,所述第二保护片移动时所述第一配合条沿所述第一配合槽的槽壁移动;或所述第一保护片设有第二配合条,所述第二保护片设有第二配合槽,所述第一保护片移动时所述第二配合条沿所述第二配合槽的槽壁移动,所述第二保护片移动时所述第二配合槽的槽壁沿所述第二配合条移动。

2.根据权利要求1所述的调节机构,其特征在于,所述调节箱包括箱罩本体和与所述箱罩本体配合的盖板,所述调节箱内还设有弹性件,所述弹性件的两端分别与所述盖板和所述第一安装座连接。

3.根据权利要求1所述的调节机构,其特征在于,所述调节机构还包括锁紧件,所述锁紧件设在所述调节箱的外侧,所述锁紧件的一端能够伸入所述调节箱内并抵压所述第一安装座,以锁定所述第一安装座在调整后的位置。

4.根据权利要求3所述的调节机构,其特征在于,所述锁紧件为锁紧螺钉,所述锁紧螺钉与所述调节箱螺接,所述锁紧螺钉在所述调节箱上转动,以伸进所述调节箱内抵压所述第一安装座的外侧壁。

5.根据权利要求1所述的调节机构,其特征在于,所述第一保护片和所述第二保护片均为塑料片。

6.根据权利要求1-5任一项所述的调节机构,其特征在于,所述调节件还包括第三调节件,所述第三调节件的一端伸入所述调节箱,所述第三调节件呈可伸缩地设于所述调节箱的外侧,所述第三调节件伸缩、并抵压所述第一安装座、使所述第一安装座在第三方向进行移动。

7.根据权利要求6所述的调节机构,其特征在于,所述弹性件为压缩弹簧,所述压缩弹簧的一端固定在所述第三调节件上,所述压缩弹簧的另一端固定在所述盖板上。

8.根据权利要求6所述的调节机构,其特征在于,所述调节件包括调节螺钉,旋转多个所述调节螺钉、使所述调节螺钉分别抵压所述第一安装座的不同位置、并使所述第一安装座在所述第一方向、所述第二方向和所述第三方向进行移动。

9.一种微透镜阵列系统,其特征在于,包括:

微透镜阵列;及

如权利要求1-8任一项所述的调节机构,所述调节机构的第一安装座设有第一安装槽,所述微透镜阵列设于所述第一安装槽、并与所述第一通窗对应设置。

10.一种曝光机,其特征在于,包括:

曝光组件;

物镜组件;

第二安装座,所述第二安装座呈筒状结构设置;及

如权利要求9所述的微透镜阵列系统,所述微透镜阵列系统和所述物镜组件分别设于所述第二安装座的两侧,所述物镜组件设于所述曝光组件和所述第二安装座之间。

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