[发明专利]隔离阀气动翻板结构

说明书

本发明公开了隔离阀气动翻板结构，包括隔离阀体、轴套、端面法兰、转动轴、隔离阀芯，所述隔离阀体侧板上开有一通孔，通孔内部固定安装有轴套，轴套位于隔离阀体外部的端部固定安装有端面法兰，所述转动轴一端套装在轴套和端面法兰内，另一端铰接在隔离阀体内，转动轴上固定连接有隔离阀芯，还包括转臂，转臂一端固定连接转动轴上位于隔离阀体外部一端，另一端连接肘头，肘头与所述的转臂之间铰接，肘头固定连接气缸的活塞杆，气缸的缸体铰接在隔离阀体上。采用隔离阀气动翻板结构，有效的提高了作业的简单化，降低劳动强度和成本，彻底解决了原技术作业产生的隔离阀芯易卡死、晶棒被氧化的现象，同时，因为其投入少，便于推广。

技术领域

本发明涉及隔离阀，具体涉及隔离阀气动翻板结构。

背景技术

单晶炉是多晶硅转化为单晶硅工艺过程中的必备设备，而单晶硅又是光伏发电和半导体行业中的基础原料。单晶硅作为现代信息社会的关键支撑材料，是目前世界上最重要的单晶材料之一，它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料，也是光伏发电利用太阳能的主要功能材料。

单晶炉的隔离阀气动翻板结构的作用如下：在单晶硅化料过程中，通过隔离阀气动翻板结构将隔离阀芯打开或关闭，减少作业劳动强度，防止隔离阀芯关不严，造成单晶硅被氧化等问题。一般的单晶炉隔离阀都没有气动翻板结构，都是采用人工或者电机带齿轮翻转隔离阀芯，容易造成隔离阀芯翻转不到位，影响后续的真空度等现象，尤其是电机驱动齿轮完成翻板的方式，对齿轮的啮合精度要求高，常出现齿轮啮合不到位，易卡死的现象。

发明内容

针对上述技术问题，本发明提供了隔离阀气动翻板结，利用气缸实现隔离阀芯的翻转，降低隔离阀芯卡死等因素对设备的影响，同时，因为其投入少，便于推广。

为解决上述技术问题，本发明采用的一个技术方案是：隔离阀气动翻板结构，包括隔离阀体、轴套、端面法兰、转动轴、隔离阀芯，所述隔离阀体侧板上开有一通孔，通孔内部固定安装有轴套，轴套位于隔离阀体外部的端部固定安装有端面法兰，所述转动轴一端套装在轴套和端面法兰内，另一端铰接在隔离阀体内，转动轴上固定连接有隔离阀芯，还包括转臂，转臂一端固定连接转动轴上位于隔离阀体外部一端，另一端连接肘头，肘头与所述的转臂之间铰接，肘头固定连接气缸的活塞杆，气缸的缸体铰接在隔离阀体上。

作为上述方案的优选，隔离阀体上端设有气缸固定座，气缸固定座一端固定在隔离阀体上，另一端与气缸的缸体铰接。

作为上述方案的优选，气缸固定座一端通过至少两根螺丝固定在隔离阀体上，另一端与所述的隔离阀体之间具有间隔，间隔内设置固定轴，

固定轴一端固定连接隔离阀体，另一端固定连接气缸固定座，气缸缸体铰接固定轴，或固定轴两端均设置轴承，其中一个轴承安装在隔离阀体上，另一个轴承安装在气缸固定座上，气缸缸体与固定轴固定连接。

作为上述方案的优选，还包括枢轴，肘头端部具有通孔一，转臂端部具有通孔二，枢轴穿过通孔一、通孔二。

作为上述方案的优选，气缸活塞杆端部具有内螺纹孔，肘头端部具有外螺纹柱体，外螺纹柱体旋入所述的内螺纹孔内。

本发明的有益效果是：在单晶炉作业过程中，采用隔离阀气动翻板结构，有效的提高了作业的简单化，降低劳动强度和成本，彻底解决了原技术作业产生的隔离阀芯易卡死、晶棒被氧化的现象；

隔离阀气动翻板结构，减少人工打开和关闭隔离阀芯的时间和劳动强度，提高控制的准确性；

隔离阀气动翻板结构，利用气缸实现隔离阀芯的翻转，降低隔离阀芯卡死等因素对设备的影响，同时，因为其投入少，便于推广。

附图说明

图1是本发明的结构示意图；

图2是图1中EE剖面图。

具体实施方式