[发明专利]双射束带电粒子显微镜中的样品制备和检查

权利要求书

1.一种在双射束带电粒子显微镜中制备样品的方法，该双射束带电粒子显微镜具有：

- 离子射束柱，其能够产生沿着离子轴传播的离子射束；

- 电子射束柱，其能够产生沿着电子轴传播的电子射束，

该方法包括以下步骤：

- 在样本保持器上提供前体样本；

- 使用所述离子射束在所述样本的所选部分周围切出沟槽；

- 将操纵器针附接至所述部分，使所述部分与所述样本的剩余部分分离，以及使用针来执行该部分远离样本的剩余部分的抬出，

其特征在于：

- 将操纵器针配置成具有多个运动自由度，其至少包括：

• 关于通过所述离子轴和电子轴的交点且垂直于所述电子轴的倾斜轴的优心倾斜θ；

• 关于针的纵轴的旋转；

- 在将所述部分维持在所述针上的同时，使用所述离子射束对所述部分的至少一个表面进行加工，以便产生所述样品；

- 在将所述部分维持在所述针上的同时，针对所述旋转的至少两个不同值，利用所述电子射束来检查它。

2.根据权利要求1所述的方法，其中所述检查包括在所述部分上以所述旋转的值范围执行透射电子断层成像术。

3.根据权利要求2所述的方法，其中以对应于基本上垂直于所述电子射束的针取向的倾斜值θ = 0°来执行所述断层成像术。

4.根据权利要求1或2所述的方法，其中：

- 所述针保持一可拆卸工具，其包括：

• 平板；

• 从所述平板延伸的至少一个附属物；

- 将所述部分粘附至所述附属物。

5.根据权利要求4所述的方法，其中所述可拆卸工具包括TEM网格或抬出网格。

6.根据权利要求4所述的方法，其中多个附属物以扇状布置从平板延伸。

7.一种双射束带电粒子显微镜，其包括：

- 离子射束柱，其用于产生沿着离子轴传播的离子射束；

- 电子射束柱，其用于产生沿着电子轴传播的电子射束，

- 样本保持器，其用于保持样本；

- 操纵器针，其能够被附接至所述样本的部分；

- 检测器，其用于响应于由所述电子射束的照射来检测从所述部分放射的辐射；

- 控制器，其用于至少部分控制所述显微镜的操作，

其特征在于：

- 所述针具有多个运动自由度，其至少包括：

• 关于通过所述离子轴和电子轴的交点且垂直于所述电子轴的倾斜轴的优心倾斜θ；

• 关于针的纵轴的旋转。

8.根据权利要求7所述的显微镜，其中所述控制器被配置成：

- 选择第一θ值，所述操纵器针用来以第一θ值执行所述部分从所述样本的切除后抬出；

- 选择不同于第一θ值的第二θ值，所述电子射束被用来以第二θ值检查所述部分。

9.根据权利要求8所述的显微镜，其中：

- 所述检测器被配置成检测在所述照射期间通过所述部分透射的电子；

- 在所述检查期间，所述控制器被配置成：

• 将所述针驱动至至少两个不同的值；

•在所述值的每一个处，记录来自所述检测器的输出。