[发明专利]基于衍射光栅的玻璃平板折射率均匀性检测装置及检测方法

权利要求书

1.基于衍射光栅的玻璃平板折射率均匀性检测方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤1，调节扩束镜的位置，使可调波长光源出射的光束会聚到一点，在会聚点处加针孔光阑，滤除杂散光，使出射的光波为球面波；

步骤2，调节准直镜的位置，使入射的球面波通过后变为平面光波；

步骤3，调节可调狭缝缝宽，使平面光波通过狭缝后出射合适线状平面光波；

步骤4，调节反射式平面衍射光栅，使合适线状平面光波斜入射，反射光波为衍射光波；

步骤5，调节反射式平面衍射光栅，使其+1级衍射波通过光学成像镜头会聚，在光学成像镜头的像平面上得到衍射图样A，调节CCD图像采集系统接收衍射图样A；

步骤6，为了400nm-800nm波长的+1级衍射波均匀投射到CCD的接收面上，选定可调光源的中心波长600nm进行光束入射角的标定，调节光束入射角使600nm波长的衍射波垂直入射到CCD接收面上，作为CCD接收的中心坐标；

步骤7，在反射式平面衍射光栅和光学成像镜头之间加入待测件，在光学成像镜头的像平面上得到经待测件折射的衍射光波B，调节CCD图像采集系统接收衍射图样B；

步骤8，计算机对比处理衍射图样B和衍射图样A，得到待测件的折射率空间分布信息；

上述检测方法所采用的检测装置，包括波长可调光源（1），沿波长可调光源（1）出射光线光轴方向依次设置扩束镜（2）、针孔光阑（3）、准直镜（4）、可调狭缝（5）和反射式平面衍射光栅（6），反射式平面衍射光栅（6）的工作面与所述出射光线光轴之间构成20—45°的入射夹角，在所述反射式平面衍射光栅（6）的下方竖直依次设光学成像镜头（8）和CCD图像采集系统（9），所述CCD图像采集系统（9）连接计算机（10）；在所述反射式平面衍射光栅（6）和光学成像镜头（8）之间设置待测件（7）；

所述准直镜（4）的焦距等于准直镜（4）到针孔光阑（3）的距离；

所述可调狭缝（5）的狭缝宽度可调范围0-10mm。