[发明专利]一种晶体生长装置和一种Er;Yb双掺LuAG晶体及其制备方法在审
申请号: | 201810797964.1 | 申请日: | 2018-07-19 |
公开(公告)号: | CN108893780A | 公开(公告)日: | 2018-11-27 |
发明(设计)人: | 王彪;权纪亮;朱允中;马德才;杨名鸣;龙思卫;杨鑫 | 申请(专利权)人: | 中山大学 |
主分类号: | C30B29/28 | 分类号: | C30B29/28;C30B15/00;C30B15/28 |
代理公司: | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人: | 刘奇 |
地址: | 510000 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 晶体生长装置 双掺 制备 高功率激光器 高温晶体生长 晶体生长过程 全自动化控制 光电子材料 保温系统 高温晶体 工作物质 光学性能 晶体生长 控制系统 生长过程 装置制备 热导率 提拉 温场 保温 生长 | ||
1.一种晶体生长装置,包括下保温系统、上保温系统和提拉控制系统;所述下保温系统包括陶瓷底盘(1)、位于所述陶瓷底盘上的第一氧化锆盘(2)、位于第一氧化锆盘上的氧化锆保温筒(3)和位于氧化锆保温筒内部的第二氧化锆盘(4);所述第二氧化锆盘的下表面和第一氧化锆盘的上表面接触;所述陶瓷底盘(1)、第一氧化锆盘(2)的直径和氧化锆保温筒(3)的外径尺寸一致;所述第二氧化锆盘(4)的直径和氧化锆保温筒(3)的内径尺寸一致;
所述上保温系统包括底部和氧化锆保温筒筒壁接触的陶瓷保温筒(5)、位于陶瓷保温筒内层的氧化锆后热器(6)和位于陶瓷保温筒顶部的氧化锆散热环(7);所述氧化锆后热器内部形成圆台形保温腔;所述陶瓷保温筒(5)的外径大于氧化锆保温筒的(3)外径;
所述提拉控制系统包括放置在所述第二氧化锆盘(4)上的坩埚(8)、垂直于坩埚的提拉杆(9)、与提拉杆相连的称重装置(10)、与称重装置相连的传感器(11)以及与传感器相连的控制器(12);所述提拉控制系统还包括缠绕在所述氧化锆保温筒外侧的感应线圈(13);所述感应线圈的感应强度通过控制器控制。
2.根据权利要求1所述的生长装置,其特征在于,所述氧化锆后热器的高度为150~200mm;所述氧化锆后热器底部的壁厚为8~15mm,顶部的壁厚为15~35mm;
所述圆台形保温腔的顶部直径为30~80mm,底部直径为80~140mm。
3.根据权利要求1所述的生长装置,其特征在于,所述氧化锆保温筒的内径为70~130mm,外径为150~250mm。
4.一种利用权利要求1~3任意一项所述的生长装置制备Er,Yb双掺LuAG晶体的方法,包括以下步骤:
(1)将Lu2O3、Er2O3、Yb2O3和Al2O3按式I所示化学式配料后依次进行压制和烧结,得到多晶料;
Er3xYb3yLu3(1-x-y)Al5O12 式I;
式I中:x=0.002~0.06,y=0.001~0.06;
(2)将所述多晶料置于坩埚(8)中,将籽晶与提拉杆(9)相连,使籽晶对准坩埚中心,将生长装置密封后抽真空;所述籽晶为<111>方向的Er:LuAG晶体;
(3)在氩气保护条件下进行升温使所述多晶料熔化,将所述籽晶下移,使籽晶部分进入多晶料熔体;
(4)多晶料熔体温度达到引晶温度后进行恒温处理,恒温处理后依次进行引晶预拉、放肩生长、等径生长和晶体拉脱,得到Er,Yb双掺LuAG晶体;
所述步骤(3)~(4)通过控制器(12)控制完成。
5.根据权利要求4所述的方法,其特征在于,所述步骤(1)中烧结的温度为1000~1350℃,烧结的时间为24~48h。
6.根据权利要求4所述的方法,其特征在于,所述步骤(4)中引晶温度通过称重装置(10)显示的重量变化判断得到,当所述称重装置显示的重量减少0.01~0.03g时,即达到引晶温度;
所述步骤(4)中恒温处理的时间为1~2h。
7.根据权利要求4所述的方法,其特征在于,所述放肩生长的放肩角度为30~60°,放肩长度为10~50mm,提拉速度1~2mm/小时,晶转速度为16~20转/分钟。
8.根据权利要求4所述的方法,其特征在于,所述等径生长的直径偏差为0.5~1mm,晶升为1.8~0.7mm/h,晶转速度为18~14r/min。
9.根据权利要求4所述的方法,其特征在于,所述拉脱的提拉速度为100~500mm/h,提拉距离为10~30mm。
10.权利要求4~9任意一项所述方法制备的Er,Yb双掺LuAG晶体,组成成分如式I所示;
Er3xYb3yLu3(1-x-y)Al5O12 式I;
式I中:x=0.002~0.06,y=0.001~0.06。
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