[发明专利]一种差分圆形栅式电容角位移传感器有效
| 申请号： | 201810798031.4 | 申请日： | 2018-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN108827144B | 公开（公告）日： | 2019-11-01 |
| 发明（设计）人： | 段发阶;黄婷婷;蒋佳佳;傅骁;叶德超 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | G01B7/30 | 分类号： | G01B7/30 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人： | 刘子文 |
| 地址： | 300072*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电极 定极板 动极板 传感器 两组 电容角位移 输出电容 栅式 漂移 反正弦函数 边缘效应 变化曲线 电极交叉 对角位移 相位关系 电容 过零点 角位移 可调整 两极板 位置角 正反转 正弦波 减小 电路 检测 | ||
【权利要求书】：
1.一种差分圆形栅式电容角位移传感器，其特征在于，由定极板和动极板组成，所述定极板中半径为r的圆周上等间距的排列分布有N个电极；所述动极板中半径为r的圆周上交叉分布有两组电极，每组电极包括K个电极；定极板中的所有电极均连接至第一输出端子G；所述动极板中其中一组电极连接至第二输出端子A，另一组电极连接至第三输出端子B，第二输出端子A和第一输出端子G构成传感电容CAG的两个输出端子，第三输出端子B和第一输出端子G构成传感电容CBG的两个输出端子，N、K均为大于1的正整数。
2.根据权利要求1所述一种差分圆形栅式电容角位移传感器，其特征在于，所述定极板中单个电极占据的角位移为α1，相邻两个电极间的角位移为α2；所述动极板中同组相邻的两个电极之间的夹角为α3，α3为α2的整数倍，不同组相同序号的两电极之间的夹角为α4。
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