[发明专利]缺陷检查系统及缺陷检查方法

权利要求书

1.一种缺陷检查系统，其特征在于，具备：

光源，其向检查对象照射光；

摄像部，其按离散时间拍摄二维图像，该二维图像基于从所述光源向所述检查对象照射并透过所述检查对象或在所述检查对象上反射后的所述光而形成；

输送部，其将所述检查对象相对于所述光源及所述摄像部沿着输送方向相对地输送；以及

图像处理部，其对由所述摄像部拍摄出的所述二维图像的图像数据进行处理，

所述摄像部拍摄出在所述二维图像的与所述输送方向一致的方向上亮度发生变化的所述二维图像，

所述图像处理部具有：

列分割处理部，其将所述二维图像处理成列分割图像的所述图像数据，所述列分割图像通过将所述二维图像分割为沿着所述输送方向排列的多个列、并使由所述摄像部按所述离散时间拍摄出的所述二维图像各自中的相同位置的所述列依照时间序列的顺序排列而成，通过使所述列分割图像各自的将所述列依照时间序列的顺序排列的时刻的范围偏移，从而以使各所述列分割图像表示所述检查对象的相同位置的方式进行对位；以及

缺陷类别识别部，其基于对与两个以上的所述列分割图像所包含的缺陷的类别的识别相关的机械学习的结果进行积累得到的数据，来识别所述检查对象的缺陷的类别，其中，两个以上的所述列分割图像是通过所述列分割处理部处理而得到的图像。

2.根据权利要求1所述的缺陷检查系统，其中，

所述缺陷类别识别部基于对与亮度10％以上不同的两个所述列分割图像所包含的缺陷的类别的识别相关的机械学习的结果进行积累得到的数据，来识别所述检查对象的缺陷的类别。

3.根据权利要求1或2所述的缺陷检查系统，其中，

所述缺陷检查系统还具备遮光体，该遮光体位于所述光源与所述检查对象之间，并对从所述光源向所述检查对象照射的所述光的一部分进行遮挡，从而在由所述摄像部按离散时间拍摄的所述二维图像上形成明部和暗部，

所述输送部将所述检查对象相对于所述光源、所述遮光体及所述摄像部沿着与所述明部和所述暗部的分界线相交的所述输送方向相对地输送，

所述缺陷类别识别部基于对与如下列分割图像所包含的缺陷的类别的识别相关的机械学习的结果进行积累得到的数据，来识别所述检查对象的缺陷的类别，所述列分割图像是指：使所述二维图像中的所述明部的位置的所述列依照时间序列的顺序排列而成的列分割图像；以及使所述二维图像中的所述暗部的位置的所述列依照时间序列的顺序排列而成的列分割图像。

4.一种缺陷检查方法，其特征在于，包括：

从缺陷检查系统的光源向检查对象照射光的照射工序；

由所述缺陷检查系统的摄像部按离散时间拍摄二维图像的摄像工序，其中，所述二维图像基于在所述照射工序中从所述光源向所述检查对象照射并透过所述检查对象或在所述检查对象上反射后的所述光而形成；

由所述缺陷检查系统的输送部将所述检查对象相对于所述光源及所述摄像部沿着输送方向相对地输送的输送工序；以及

由所述缺陷检查系统的图像处理部对在所述摄像工序中拍摄出的所述二维图像的图像数据进行处理的图像处理工序，

在所述摄像工序中，拍摄出在所述二维图像的与所述输送方向一致的方向上亮度发生变化的所述二维图像，

在所述图像处理工序中包括：

将所述二维图像处理成列分割图像的所述图像数据的列分割处理工序，其中，所述列分割图像通过将所述二维图像分割为沿着所述输送方向排列的多个列、并使在所述摄像工序中按所述离散时间拍摄出的所述二维图像各自中的相同位置的所述列依照时间序列的顺序排列而成，通过使所述列分割图像各自的将所述列依照时间序列的顺序排列的时刻的范围偏移，从而以使各所述列分割图像表示所述检查对象的相同位置的方式进行对位；以及

基于对与两个以上的所述列分割图像所包含的缺陷的类别的识别相关的机械学习的结果进行积累得到的数据，来识别所述检查对象的缺陷的类别的缺陷类别识别工序，其中，两个以上的所述列分割图像是在所述列分割处理工序中处理得到的图像。