[发明专利]蒸镀设备

权利要求书

1.一种蒸镀设备，其特征在于，包括：

真空腔体(10)；

若干防着板(20)，设置于所述真空腔体(10)内，所述若干防着板(20)拼接以形成具有开口(20b)的容纳空间(20a)；

黏附腔体(30)，设置于所述容纳空间(20a)内，所述黏附腔体(30)上具有与所述开口(20b)相对的蒸发口(30a)；

蒸发源(40)，设置于所述黏附腔体(30)内，所述蒸发源(40)与所述蒸发口(30a)相对。

2.根据权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述黏附腔体(30)可拆卸地安装于所述防着板(20)上。

3.根据权利要求1或2所述的蒸镀设备，其特征在于，所述黏附腔体(30)内表面设置有凸起(30c)。

4.根据权利要求3所述的蒸镀设备，其特征在于，所述凸起(30c)的截面形状的形状为三角形、梯形、扇形中的任意一种。

5.根据权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述黏附腔体(30)上设有监控口(30b)，所述监控口(30b)用于连接膜厚传感器(50)。

6.根据权利要求2所述的蒸镀设备，其特征在于，所述黏附腔体(30)包括围绕所述蒸发源(40)设置的若干侧板(31)以及与所述蒸发源(40)相对设置的顶板(32)，所述若干侧板(31)可拆卸地安装于所述防着板(20)上，所述蒸发口(30a)位于所述顶板(32)上。

7.根据权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述蒸发源(40)包括坩埚(41)和加热器(42)，所述坩埚(41)上开设有喷射口(41a)，所述喷射口(41a)正对所述蒸发口(30a)，所述加热器(42)用于加热所述坩埚(41)。

8.根据权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述蒸镀设备还包括设置于所述真空腔体(10)内的机械臂(61)、与所述机械臂连接的磁力板(62)以及与所述磁力板相对设置的安装架(63)，所述机械臂(61)用于控制所述磁力板(62)竖直方向上的移动，所述安装架(63)用于承载掩膜板(80)，所述磁力板(62)用于吸附所述掩膜板(80)，从而使得所述掩膜板(80)贴附于待蒸镀基板(70)的待蒸镀表面上。

9.根据权利要求8所述的蒸镀设备，其特征在于，所述蒸镀设备还包括冷板(90)，所述冷板(90)设置于所述磁力板(62)和所述掩膜板(80)之间，所述待蒸镀基板(70)设置于所述冷板(90)和所述掩膜板(80)之间。