[发明专利]自动对位曝光机及其工作方法

权利要求书

1.一种自动对位曝光机，其包括上曝光灯、下曝光灯、用以放置一上菲林片的上对位平台、位于上对位平台下方用以放置一下菲林片的下对位平台、用于放置基板的定位平台及至少一CCD摄像模块，所述定位平台位于上对位平台与下对位平台之间，其特征在于：所述至少一CCD摄像模块在上曝光灯及下曝光灯第一次曝光之前，对上菲林片及下菲林片上的预定参考点进行取像，促使上对位平台与下对位平台进行位置调整，实现上菲林片与下菲林片上的预定参考点完全重合，所述上曝光灯及下曝光灯每次曝光完成后，能够在基板上成型图形及用于提供下一次上菲林片、下菲林片与基板进行对位的曝光参考点。

2.根据权利要求1所述的自动对位曝光机，其特征在于：所述上对位平台在曝光之前带动上菲林片向下移动后与基板贴合，在曝光完成后带动上菲林片向上移动。

3.根据权利要求1所述的自动对位曝光机，其特征在于：所述自动对位曝光机包含第一、第二CCD摄像模块，所述第一、第二CCD摄像模块用于取像基板上的上一次曝光成型的曝光参考点，便于实现该曝光参考点与上菲林片、下菲林片的预定参考点精确对位。

4.根据权利要求3所述的自动对位曝光机，其特征在于：所述自动对位曝光机还包含第三CCD摄像模块，所述第三CCD摄像模块用于取像上菲林片、下菲林片的预定参考点进行位置复检。

5.一种自动对位曝光机的工作方法，所述自动对位曝光机包括上曝光灯、下曝光灯、上对位平台、位于上对位平台下方的下对位平台、定位平台及至少一CCD摄像模块，所述定位平台位于上对位平台与下对位平台之间，所述工作方法包括如下步骤：

首先，放置一上菲林片在上对位平台上，放置一下菲林片在下对位平台上，所述至少一CCD摄像模块对上菲林片及下菲林片上的预定参考点进行取像；

其次，上对位平台与下对位平台进行位置调整，促使上菲林片与下菲林片的预定参考点完全重合；

然后，放置基板于定位平台上，上对位平台下降，与基板贴合，上曝光灯与下曝光机第一次曝光，基板上成型图形与第一次曝光参考点，第一次曝光后，上对位平台上升，同时移动基板，基板移动到位后，所述CCD摄像模块取像该曝光参照点，上对位平台、下对位平台运动，促使上菲林片、下菲林片的参照点与基板的第一次曝光参照点精确对位到理论位置；

最后，上对位平台再次下降与基板贴合，上曝光灯、下曝光机进行第二次曝光，形成图形与第二曝光参考点，第二次曝光后，上对位平台上升，基板移动，以此类推，每一次曝光自动生成供后一次上菲林片及下菲林片与基板对位的曝光参考点。

6.根据权利要求5所述的曝光机装的工作方法，其特征在于：所述自动对位曝光机包含第一、第二CCD摄像模块，所述第一、第二CCD摄像模块用于取像基板上的上一次曝光成型的曝光参考点，便于实现该曝光参考点与上菲林片、下菲林片的预定参考点精确对位。

7.根据权利要求6所述的自动对位曝光机的工作方法，其特征在于：所述自动对位曝光机还包含第三CCD摄像模块，所述第三CCD摄像模块用于取像上菲林片、下菲林片的预定参考点进行位置复检。