[发明专利]一种太阳能电池制备用石英器件的清洗方法有效
| 申请号： | 201810805202.1 | 申请日： | 2018-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN109107974B | 公开（公告）日： | 2020-08-11 |
| 发明（设计）人： | 许成德;陈健生;李鑫 | 申请（专利权）人： | 横店集团东磁股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08;B08B3/10;B08B3/12;B08B7/04 |
| 代理公司： | 杭州杭诚专利事务所有限公司 33109 | 代理人： | 尉伟敏 |
| 地址： | 322118 *** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 太阳能电池 制备 石英 器件 清洗 方法 | ||
1.一种太阳能电池制备用石英器件的清洗方法，其特征在于包括以下步骤：
a）在清洗槽中加入氢氟酸、臭氧水混合药液并加热，将石英器件放入到清洗槽中密封浸泡酸洗；
b）在高温水洗槽中加入臭氧水并加热，将经步骤a）浸泡酸洗的石英器件在高温水洗槽中浸泡清洗；
c）在常温水洗槽中加入臭氧水，在常温下将经步骤b）浸泡清洗的石英器件在常温水洗槽中浸泡清洗；
d）重复步骤c）直至常温水洗槽的pH值为中性，水洗完成；
e）水洗完成后将石英器件取出，并干燥完成石英器件清洗过程。
2.根据权利要求1所述的一种太阳能电池制备用石英器件的清洗方法，其特征在于：
所述臭氧水中臭氧含量为10～30ppm。
3.根据权利要求1或2所述的一种太阳能电池制备用石英器件的清洗方法，其特征在于：
所述的氢氟酸、臭氧水混合药液中，氢氟酸和臭氧水的体积比为（1～2）：（15～20）。
4.根据权利要求1所述的一种太阳能电池制备用石英器件的清洗方法，其特征在于：
所述步骤a）中，浸泡酸洗时温度控制在60～90℃，并使用40KHz超声波和鼓泡辅助酸洗。
5.根据权利要求1所述的一种太阳能电池制备用石英器件的清洗方法，其特征在于：
所述步骤a）中，浸泡酸洗时间为15～40分钟。
6.根据权利要求1所述的一种太阳能电池制备用石英器件的清洗方法，其特征在于：
所述步骤b）中，浸泡清洗时温度控制在60～90℃，并使用40KHz超声波和鼓泡辅助清洗。
7.根据权利要求1所述的一种太阳能电池制备用石英器件的清洗方法，其特征在于：
所述步骤b）中，保持臭氧水的体积为200～250L，浸泡清洗时间为10～30分钟。
8.根据权利要求1所述的一种太阳能电池制备用石英器件的清洗方法，其特征在于：
所述步骤c）中，浸泡清洗时使用鼓泡辅助清洗。
9.根据权利要求1所述的一种太阳能电池制备用石英器件的清洗方法，其特征在于：
所述步骤c）中，保持臭氧水的体积为200～250L，浸泡清洗时间为10～30分钟。
10.根据权利要求1所述的一种太阳能电池制备用石英器件的清洗方法，其特征在于：
所述步骤e）中，采用氮气或压缩空气将取出的石英器件干燥。
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