[发明专利]OLED背板及其制作方法

权利要求书

1.一种OLED背板，其特征在于，包括：衬底基板(10)、设于所述衬底基板(10)上的缓冲层(30)、设于所述缓冲层(30)上并间隔设置的有源层(43)和透明导体层(44)、设于所述有源层(43)上的栅极绝缘层(52)、设于所述栅极绝缘层(52)上的栅极(60)、覆盖所述缓冲层(30)、有源层(43)、透明导体层(44)及栅极(60)的层间绝缘层(70)、设于所述层间绝缘层(70)上的源极(81)和漏极(82)、设于所述层间绝缘层(70)、源极(81)及漏极(82)上的钝化层(90)、设于所述钝化层(90)上的平坦层(100)、设于所述平坦层(100)上的像素电极(110)以及设于所述平坦层(100)及像素电极(110)上的像素定义层(120)；

所述透明导体层(44)与像素电极(110)形成透明电容结构；所述像素定义层(120)在该透明电容结构上方限定出OLED发光区；

所述像素电极(110)通过贯穿所述钝化层(90)及平坦层(100)的第三过孔(101)与漏极(82)接触，并通过贯穿所述钝化层(90)及平坦层(100)的第一开口(102)与层间绝缘层(70)接触；

所述像素定义层(120)设有暴露出位于所述透明导体层(44)上方的像素电极(110)的第二开口(121)，该第二开口(121)在所述透明电容结构上方限定出OLED发光区；

所述缓冲层(30)的厚度为所述缓冲层(30)为氧化硅层及氮化硅层中的一种或两种的组合；所述有源层(43)与透明导体层(44)的厚度均为所述有源层(43)与透明导体层(44)的材料均为铟镓锌氧化物、铟锌锡氧化物及铟镓锌锡氧化物中的一种；所述栅极绝缘层(52)的厚度为所述栅极绝缘层(52)为氧化硅层及氮化硅层中的一种或两种的组合；所述栅极(60)的材料为钼、铝、铜及钛中的一种或多种组成的合金；所述栅极(60)的厚度为所述层间绝缘层(70)的厚度为所述层间绝缘层(70)为氧化硅层及氮化硅层中的一种或两种的组合；所述源极(81)和漏极(82)的材料均为钼、铝、铜及钛中的一种或多种组成的合金；所述源极(81)和漏极(82)的厚度均为所述钝化层(90)的厚度为所述钝化层(90)为氧化硅层及氮化硅层中的一种或两种的组合。

2.如权利要求1所述的OLED背板，其特征在于，所述有源层(43)包括位于所述栅极绝缘层(52)下方的沟道区(431)以及位于所述沟道区(431)两侧的源极接触区(432)及漏极接触区(433)；所述源极(81)通过贯穿所述层间绝缘层(70)的第一过孔(71)与源极接触区(432)接触，所述漏极(82)通过贯穿所述层间绝缘层(70)的第二过孔(72)与漏极接触区(433)接触。

3.如权利要求1所述的OLED背板，其特征在于，所述层间绝缘层(70)作为透明电容结构的介电层。

4.如权利要求1所述的OLED背板，其特征在于，还包括设于所述衬底基板(10)与缓冲层(30)之间并位于有源层(43)下方的遮光层(20)。

5.如权利要求4所述的OLED背板，其特征在于，所述遮光层(20)的厚度为所述遮光层(20)的材料为钼、铝、铜及钛中的一种或多种组成的合金。