[发明专利]一种氮化硅陶瓷喷嘴及其制备方法

权利要求书

1.一种氮化硅陶瓷喷嘴的制备方法，其特征在于，所述氮化硅陶瓷喷嘴的原料组成为：氮化硅亚微米粉料65％~70％，Y₂O₃亚微米粉料5％~10％，TiC亚微米粉料5％~8％，Al₂O₃细晶粒粉料3％~5％，Li₂CO₃亚微米粉料3％~7％，ZrO₂亚微米粉料1％~3％，高岭土2％~5％，利用SPS烧结技术进行烧结成型得到，SPS烧结的操作如下：将制备好的粉料装入石墨模具中，粉料与模具内壁用碳纸隔开，放入SPS烧结炉中，两段加石墨电极固定好，抽真空至20Pa以内后，烧结过程中调节上下电极升降保持压力在25MPa，先以2℃/s的速度加热到800℃，保温1min，保持压力随炉冷却20分钟取出，脱去芯模，再次放到SPS烧结炉中，调节上下电极升降保持压力在12.5MPa，以2℃/s的速度加热到1400℃，升温至1200℃时将压力升至35MPa并保持，然后以0.8℃/s的速度加热到1780℃，保温5min进行烧结，然后保持压力并随炉冷却40min后取出，脉冲输出压力范围2~12V，输出电流范围0~5000A。

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，预成型所用的芯模材料为模具钢。

3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所用的原料中氮化硅为ɑ-Si₃N₄。

4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所用的原料中氮化硅的粒径为0.8µm，以氮化硅为主原料，加入其他组分，以无水乙醇为溶剂，进行湿式球磨，使粉料混合均匀。

5.根据权利要求4所述的制备方法，其特征在于，球磨时所用的磨料是氮化硅小球。

6.根据权利要求1-5中任一项所述的制备方法制备得到的氮化硅陶瓷喷嘴。