[发明专利]用于调节管状磁控管的磁体系统的旋转角度的装置和方法

权利要求书

1.用于可旋转地安装管状磁控管的磁体系统（36）的法兰单元，包括以下部件：

主刻度（1），形成为圆形、环形或圆形段状盘并包括第一旋转角度刻度，第一旋转角度刻度形成在主刻度（1）的侧表面或主刻度（1）的圆周上或与主刻度（1）的圆周平行延伸的圆弧上，

第一游标（2），其形成为圆形、环形或圆形段状盘并包括第二旋转角度刻度，其形成在第一游标（2）的侧表面或第一游标（2）的圆周上或与第一游标（2）的圆周平行延伸的圆弧上，

其中主刻度（1）和第一游标（2）同心地布置并且彼此相邻，

其中第一游标（2）能够相对于主刻度（1）绕主刻度（1）和第一游标（2）的公共轴（40）旋转，

其中第一旋转角度刻度和第二旋转角度刻度具有不同的刻度分度，

主刻度（1）和第一游标（2）具有连接装置，利用该连接装置，具有管状磁控管的静态部件的主刻度（1）和具有磁体系统（36）的第一游标（2）能够机械连接，并且

至少一个锁定装置（5），用于锁定第一游标（2）相对于主刻度（1）的设定旋转角度。

2.根据权利要求1所述的法兰单元，其中，所述第一旋转角度刻度和第二旋转角度刻度中的至少一个具有与刻度相关的凹槽，并且所述锁定装置（5）设计成接合在所述凹槽中。

3.根据权利要求1或2所述的法兰单元，其特征在于，所述法兰单元（11）包括读取标记（4），所述读取标记能够绕所述第一游标（2）和所述主刻度（1）的公共轴（40）旋转。

4.根据权利要求1或2所述的法兰单元，其中所述法兰单元（11）具有读取标记（4），并且所述锁定装置（5）布置在读取标记（4）上。

5.根据权利要求1或2所述的法兰单元，其中，所述第一游标（2）包括辅助旋转角度刻度（14），用于表示所述第二旋转角度刻度的刻度。

6.根据权利要求1或2所述的法兰单元，其中，主刻度（1）或第一游标（2）的连接装置中的至少一个是喷嘴（9、10），所述喷嘴相对于第一游标（2）和所述主刻度（1）的公共轴（40）同心地安装在主刻度（1）或第一游标（2）上。

7.根据权利要求1或2的法兰单元，其中，所述主刻度（1）和所述第一游标（2）的盘不一致。

8.根据权利要求1或2所述的法兰单元，其中，通过圆环或圆环段（8）将所述主刻度（1）和所述第一游标（2）保持在彼此的适当位置，圆环或圆环段（8）安装在主刻度（1）或第一游标（2）的其中之一上，并且分段覆盖主刻度（1）和第一游标（2）。

9.根据权利要求8所述的法兰单元，所述法兰单元(11)具有读取标记(4),并且锁定装置(5)设置在读取标记(4)上。

10.根据权利要求1或2所述的法兰单元，其中，在所述第一游标（2）上或在与所述第一游标（2）同心设置的第二游标上，平行于第二旋转角度刻度延伸形成第三旋转角度刻度。

11.管状磁控管，包括以下部件：

管靶（31），

磁体系统（36），其设置在管靶（31）中，用于在靶表面上形成侵蚀痕迹，

可旋转地安装的靶轴（32），用于保持和旋转管靶（31），

喷嘴（39），其设置在靶轴（32）中，用于保持磁体系统（36），

用于可旋转地支撑所述磁体系统（36）的根据权利要求1-10中任一项所述的法兰单元（11），

法兰单元（11）的主刻度（1）机械连接到喷嘴（39），第一游标（2）机械连接到磁体系统（36）。

12.根据权利要求11所述的管状磁控管，还包括用于移动以下部件的驱动器：第一游标（2）、第二游标、锁定装置（5）。