[发明专利]平板式PECVD设备载板自动传输控制装置、PECVD设备及方法

权利要求书

1.一种平板式PECVD设备载板自动传输控制装置，其特征在于，包括

载板位置检测组件，安装于平板式PECVD设备的各腔室内，用于实时检测载板的位置；以及

控制单元，与所述载板位置检测组件相连，用于根据载板的位置信号控制载板在各腔室内的运行速度。

2.根据权利要求1所述的平板式PECVD设备载板自动传输控制装置，其特征在于，所述载板位置检测组件包括多个位置检测件，安装于各腔室内。

3.根据权利要求2所述的平板式PECVD设备载板自动传输控制装置，其特征在于，各腔室内均安装有两个位置检测件，安装于腔室的前后两端。

4.一种平板式PECVD设备，包括依次对接的上料台、第一上料腔、第一预热腔、第一工艺腔、第一冷却腔、第二上料腔、第二预热腔、第二工艺腔、第二冷却腔、下料腔和下料台；各腔室均对应有驱动电机；其特征在于，还包括如权利要求1至3中任意一项所述的控制装置，其中控制单元与各驱动电机相连，通过控制驱动电机以实现调整各腔室的传输速度。

5.一种基于权利要求1至3中任意一项所述的平板式PECVD设备载板自动传输控制装置的控制方法，其特征在于，包括以下步骤：

S01、通过载板位置检测组件实时检测载板的位置；

S02、控制单元根据载板的位置信号控制载板在各腔室内的运行速度。

6.根据权利要求5所述的控制方法，其特征在于，各腔室内均安装有两个位置检测件，安装于腔室的前后两端；当后端的位置检测件检测到载板时，停止上一腔室的传输或/和关闭上一腔室与当前腔室之间闸阀门；当前端的位置检测件检测到载板时，控制当前腔室逐渐减速直至停止运输。

7.根据权利要求6所述的控制方法，其特征在于，当前端的位置检测件检测到载板时，控制当前腔室逐渐减速直至停止运输；在停止运输后，当下一腔室与当前腔室之间压力平衡后，开启下一腔室与当前腔室之间的闸阀门，并同时启动当前腔室和下一腔室的传输。

8.根据权利要求5至7中任意一项所述的控制方法，其特征在于，在步骤S02中，控制单元根据载板的位置信号控制各腔室内的驱动电机以实现控制各腔室的运行速度。