[发明专利]一种光子数目和能量可分辨的超导微波动态电感探测器在审
| 申请号： | 201810812775.7 | 申请日： | 2018-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN109000792A | 公开（公告）日： | 2018-12-14 |
| 发明（设计）人： | 王轶文;官怀;戴茂春;刘想靓;郭伟杰;贺青;喻峰;宋成;高海燕;高湔松;韦联福 | 申请（专利权）人： | 西南交通大学 |
| 主分类号： | G01J1/42 | 分类号： | G01J1/42 |
| 代理公司： | 成都正华专利代理事务所(普通合伙) 51229 | 代理人： | 何凡;李蕊 |
| 地址： | 610031 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电感 交指电容 衬底 超导微波 超导转变 动态电感 光子 探测器 薄膜 分辨 能级 超导谐振器 光吸收区域 集总结构 悬浮状态 上表面 增反膜 增透膜 并联 嵌设 线宽 噪声 金属 | ||
1.一种光子数目和能量可分辨的超导微波动态电感探测器，其特征在于：包括集总结构的超导谐振器；所述谐振器包括用于抑制衬底中二能级杂质噪声的交指电容和作为光吸收区域的电感条；所述电感条嵌设于交指电容上，并与交指电容并联；
所述电感条包括至少一层TiN薄膜，TiN薄膜的超导转变温度为0.9K，厚度为20nm，面积为10μm×10μm；所述交指电容的材质为Al薄膜，其超导转变温度为1.2K，厚度为200nm，线宽为5μm，面积为0.6mm×0.6mm；位于所述电感条下方的Si衬底呈悬浮状态，Si衬底的厚度为10μm；在所述TiN薄膜的上表面均匀布设一层增透膜，在其下方均匀布设一层增反膜。
2.根据权利要求1所述的光子数目和能量可分辨的超导微波动态电感探测器，其特征在于，所述电感条的材质为TiN或TiN/Ti/TiN薄膜，面积为10μm×10μm，厚度为20nm，超导转变温度为0.9K。
3.根据权利要求1所述的光子数目和能量可分辨的超导微波动态电感探测器，其特征在于，所述交指电容的面积为0.6mm×0.6mm，线宽为5μm，其材料为Al或Nb，超导转变温度大于1K。
4.根据权利要求1所述的光子数目和能量可分辨的超导微波动态电感探测器，其特征在于，所述增透膜的材质为α-Si、SiNx或SiO2；所述增反膜的材质为Ag、Au或Al。
5.根据权利要求1所述的光子数目和能量可分辨的超导微波动态电感探测器，其特征在于，所述电感条下方的Si衬底为悬浮结构，其厚度为10μm。
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