[发明专利]稀土掺杂磁铅石型六角铁氧体及其制备方法

权利要求书

1.一种稀土掺杂磁铅石型六角铁氧体的制备方法，其特征在于，其包括：

选择基底，并清洗；

根据膜层设计，选择M源、R源和Fe源靶材，在所述的基底上交替镀制膜层，得到中间体；其中，M为Ba、Sr或Pb，R为稀土元素；

将所述的中间体热处理，得到稀土掺杂磁铅石型六角铁氧体；

其中，所述的膜层包括至少一个单元膜层，所述的单元膜层包括M层、R层和Fe层。

2.根据权利要求1所述的稀土掺杂磁铅石型六角铁氧体的制备方法，其特征在于，所述的基底为耐高温材料，为石英玻璃、蓝宝石或单晶硅。

3.根据权利要求1所述的稀土掺杂磁铅石型六角铁氧体的制备方法，其特征在于，所述的Fe源为Fe、FeO、Fe₂O₃或Fe₃O₄。

4.根据权利要求1所述的稀土掺杂磁铅石型六角铁氧体的制备方法，其特征在于，所述的M为Ba时，M源为Ba、BaO、BaCO₃或BaF₂；

所述的M为Sr时，M源为Sr、SrO、SrCO₃或SrF₂；

所述的M为Pb时，M源为Pb、PbO、PbCO₃或PbF₂。

5.根据权利要求1所述的稀土掺杂磁铅石型六角铁氧体的制备方法，其特征在于，所述的R源为稀土的单质、氧化物或碳酸盐。

6.根据权利要求1所述的稀土掺杂磁铅石型六角铁氧体的制备方法，其特征在于，所述的膜层中，M元素和Fe元素的摩尔比为1:13-2:11；

R元素和M元素的摩尔比大于0:1，并小于1:1。

7.根据权利要求1所述的稀土掺杂磁铅石型六角铁氧体的制备方法，其特征在于，所述的Fe层的厚度为0.1-100nm。

8.根据权利要求1所述的稀土掺杂磁铅石型六角铁氧体的制备方法，其特征在于，所述的热处理的温度为600-1000℃，热处理的时间为2-24h，热处理的氛围为大气氛围或氧气氛围。

9.一种稀土掺杂磁铅石型六角铁氧体，其特征在于，由权利要求1-8任一项所述的方法制备而得，其包括：

基底；

铁氧体膜层，附着在所述的基底上。

10.根据权利要求9所述的一种稀土掺杂磁铅石型六角铁氧体，其特征在于，所述的铁氧体膜层为M_1-xR_x+yFe_12-yO₁₉，其中0<x<1，0<y<12。