[发明专利]一种手性圆偏振光亚波长聚焦透镜

权利要求书

1.一种手性圆偏振光亚波长聚焦透镜，其特征在于，所述透镜以金薄膜为基底，表面刻蚀两列沿阿基米德螺旋线排列的矩形纳米孔；阿基米德螺旋线以内区域，刻蚀若干同心圆排列的空气凹槽，其圆心与透镜中心重合。

2.根据权利要求1所述的手性圆偏振光亚波长聚焦透镜，其特征在于，金薄膜的介电常数为ε_m＝-12.13+1.13j，厚度为100～400nm。

3.根据权利要求1所述的手性圆偏振光亚波长聚焦透镜，其特征在于，两列阿基米德螺旋线由公式(1)得到：

其中，内侧的阿基米德螺旋线记为阿基米德螺旋线1，外侧的阿基米德螺旋线记为阿基米德螺旋线2，r为矩形纳米孔到同心圆中心点距离；m＝±1，r₀＝4λ_SPP，D为阿基米德螺旋线1和阿基米德螺旋线2上的两个相邻矩形纳米孔的中心点径向距离，λ_SPP为所述结构的表面等离激元波长，λ_SPP＝642nm，对应的工作波长λ₀＝670nm。

4.根据权利要求3所述的手性圆偏振光亚波长聚焦透镜，其特征在于，D＝3λ_SPP/4。

5.根据权利要求3所述的手性圆偏振光亚波长聚焦透镜，其特征在于，D＝λ_SPP/4。

6.根据权利要求1所述的手性圆偏振光亚波长聚焦透镜，其特征在于，矩形纳米孔的长为100～400nm，宽为20～100nm，厚度为100～400nm。

7.根据权利要求1所述的手性圆偏振光亚波长聚焦透镜，其特征在于，阿基米德螺旋线1上排列的矩形纳米孔，其长度方向与阿基米德螺旋线1的极向夹角为45°；阿基米德螺旋线2上排列的矩形纳米孔，其长度方向与阿基米德螺旋线2的极向夹角为135°。

8.根据权利要求1所述的手性圆偏振光亚波长聚焦透镜，其特征在于，同心圆凹槽的宽度为320～10nm，深度为10～160nm，凹槽中心距透镜中心的半径分布于0～2400nm之间。