[发明专利]一种物料传输自动线及其取送料装置

说明书

本发明公开了一种取送料装置，包括滑动盘、固定在滑动盘上的机械手臂和中转料箱，所述机械手臂用于将待测物装入中转料箱，以及将待测物从中转料箱中取出并送入检测装置，通过上述设置，机械手臂将供料装置内的待测物取出，放入中转料箱，在将待测物放入检测装置时，机械手臂从中转料箱中直接取出，无需取送料装置进行多次的滑动，提高放置的效率，并且也减少能源的消耗，延长取送料装置的滑动寿命，本发明还公开了采用该取送料装置的物料传输自动线。

技术领域

本发明涉及晶圆检测设备领域，特别涉及一种物料传输自动线及其取送料装置。

背景技术

目前，公开号为CN105321860B的中国专利公开了一种全自动进出料设备包括物料进出平台、滑轨、机械手臂以及设置于滑轨的旁侧的测试机台；物料进出平台适于送出或回收工作物件，其中工作物件包括载体以及位于载体上的多个待测物，且载体具有辨识码；在物料进出平台的辨识单元辨识完载体的辨识码后，物料进出平台的控制单元驱动机械手臂自物料进出平台取出工作物件，并在机械手臂沿滑轨移动至对应的测试机台时将工作物件置放于其内。

这种自动上下料系统在使用时，机械手臂将待测物逐个送至测试机台，机械手臂移动行程长，送料所需时间长，检测工作效率低。

发明内容

本发明的目的是提供一种取送料装置，其具有检测效率高的优点。

本发明的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：

一种取送料装置，包括滑动盘、固定在滑动盘上的机械手臂和中转料箱，所述机械手臂用于将待测物装入中转料箱，以及将待测物从中转料箱中取出并送入检测装置。

通过采用上述技术方案，机械手臂将供料装置内的待测物取出，放入中转料箱，在将待测物放入检测装置时，机械手臂从中转料箱中直接取出，无需取送料装置进行多次的滑动，提高放置的效率，并且也减少能源的消耗，延长取送料装置的滑动寿命。

进一步设置：取送料装置还包括辨识组件，所述机械手臂可将待测物送至辨识组件。

通过采用上述技术方案，辨识组件对待测物的位置和编号等信息进行检测，保证送至后续检测装置的产品为完整产品，并且通过控制系统控制选择送至合适的检测装置。

进一步设置：所述辨识组件包括固定台，固定台上转动连接有转动盘以及驱动转动盘转动的转动电机，转动盘用于放置待测物，所述固定台上还固定有检测器，所述固定台上还固定有对待测物预检查的检测器。

通过采用上述技术方案，待测物在中转料箱中的放置方位不同，经过辨识组件的调整，可以保证送入检测装置的待测物方向相同，提高检测结果的准确性。

进一步设置：所述转动电机设置于固定台的侧面，所述转动电机与转动盘带连接。

通过采用上述技术方案，带传动结构简单，传动平稳，运转时产生噪音小，带动待测物转动所需的作用力较小，带传动即可满足传动需求，成本低，使用和维护方便。

进一步设置：所述机械手臂包括固定在滑动盘上的升降组件和连接在升降组件顶端的摆臂组件，所述摆臂组件包括若干水平转动连接的摆臂和取料爪。

通过采用上述技术方案，机械手臂在三维方向上可以进行移动，机械手臂的工作区域广，可以从更多的位置取、放待测物，适用范围广。

进一步设置：所述摆臂组件设置有至少两组。

通过采用上述技术方案，多组摆臂组件可以分别进行取料，提高取料和放料的效率，从而提高检测效率。

进一步设置：所述取送料装置还包括滑轨，所述滑动盘沿滑轨滑动，所述滑动盘上固定有驱动电机，所述驱动电机的输出端设置有驱动轮，所述滑轨上固定有驱动齿板，所述驱动轮与驱动齿板啮合。