[发明专利]探测设备的分辨力测试方法、测试装置及存储介质

权利要求书

1.一种探测设备的分辨力测试方法，其特征在于，包括：

获取探测设备对不同尺寸的多个测试模块进行扫描后生成的扫描图像；

根据所述扫描图像，确定出能够清晰成像且尺寸最小的测试模块，将所述尺寸最小的测试模块的尺寸作为所述探测设备的分辨力。

2.根据权利要求1所述的分辨力测试方法，其特征在于，

所述测试模块包括金属条。

3.根据权利要求2所述的分辨力测试方法，其特征在于，

所述根据所述扫描图像，确定出能够清晰成像且尺寸最小的测试模块，将所述尺寸最小的测试模块的尺寸作为所述探测设备的分辨力的步骤，包括：

根据所述扫描图像，从多个所述金属条中确定能够清晰成像且尺寸最小的金属条，将所述尺寸最小的金属条的尺寸作为所述探测设备的线分辨力。

4.根据权利要求1所述的分辨力测试方法，其特征在于，

所述测试模块包括由尺寸相同的至少两条金属条组成的金属条组，且所述至少两条金属条之间的间距与所述至少两条金属条的尺寸相同。

5.根据权利要求4所述的分辨力测试方法，其特征在于，

所述根据所述扫描图像，确定出能够清晰成像且尺寸最小的测试模块，将所述尺寸最小的测试模块的尺寸作为所述探测设备的分辨力的步骤，包括：

根据所述扫描图像，从多个所述金属条组中确定能够清晰成像且包含的金属条的尺寸最小的金属条组，将确定的所述金属条组中包含的金属条的尺寸作为所述探测设备的空间分辨力。

6.根据权利要求1所述的分辨力测试方法，其特征在于，

所述不同尺寸的多个测试模块分别贴附在同一测试基板上；或

所述不同尺寸的多个测试模块分别贴附在不同的所述测试基板上。

7.根据权利要求1所述的分辨力测试方法，其特征在于，

所述获取探测设备对不同尺寸的多个测试模块进行扫描后生成的扫描图像的步骤，包括：

获取所述探测设备同时对所述不同尺寸的多个测试模块进行扫描后生成的第一扫描图像，其中，所述第一扫描图像同时对应于所述多个测试模块；或

分别获取所述探测设备分别对所述不同尺寸的多个测试模块进行检测后生成的多个第二扫描图像，其中，所述多个第二扫描图像分别对应于所述多个测试模块。

8.根据权利要求1所述的分辨力测试方法，其特征在于，

所述获取探测设备对不同尺寸的多个测试模块进行扫描后生成的扫描图像的步骤之前，包括：

获取所述探测设备对不同尺寸的多个测试模块进行扫描后的回波信号，并根据所述回波信号，生成与所述多个测试模块对应的扫描图像。

9.一种探测设备的分辨力测试装置，其特征在于，包括相互连接的存储器和处理器，其中：

所述存储器存储有用于实现权利要求1-8任一项所述的分辨力测试方法的指令；

所述处理器执行所述存储器中的所述指令。

10.一种存储介质，其特征在于，所述存储介质存储有程序数据，所述程序数据能够被执行以实现如权利要求1-8任意一项所述的分辨力测试方法。