[发明专利]一种高纯石英坩埚的制造方法在审
申请号: | 201810824459.1 | 申请日: | 2018-07-19 |
公开(公告)号: | CN109020564A | 公开(公告)日: | 2018-12-18 |
发明(设计)人: | 王文庆;王定永 | 申请(专利权)人: | 宁波宝斯达坩埚保温制品有限公司 |
主分类号: | C04B35/66 | 分类号: | C04B35/66;C04B35/14 |
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地址: | 315490 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 烧结 高纯石英 坩埚 球磨机 熔融石英晶体 配制成浆料 重量百分比 锆化学制品 板式 比例配比 去离子水 石英坩埚 中间产品 结合剂 强酸性 石膏模 氧化物 烘干 浆料 球磨 脱模 浇铸 制造 金属 应用 | ||
1.一种高纯石英坩埚的制造方法,其特征在于:选用三种不同颗粒规格SiO2>99.7%的熔融石英晶体为主要原料,按重量百分比将颗粒直径Φ0.381mm30%-40%、Φ0.173mm10%-15%、Φ0.0065mm 60%45%的比例配比,颗粒直径允许误差都为±10%;另加添加结合剂乳酸0.2%-0.25%、去离子纯净水15%配制成浆料,浆料置于球磨机中球磨、调浆2小时,把调浆好的料浆浇铸到预先准备好的石膏模中,铸好后的坩锅坯自然干燥3小时脱模,合格的坩锅坯置放在120℃烘房里再烘48小时,烘干的石英坩埚坯在自动推板式油窑内,经1150℃-1170℃温度下1小时快速烧结成成品。
2.如权利要求1所述的一种高纯石英坩埚的制造方法,其特征在于:选用SiO2>99.7%的熔融石英晶体为主要原料,按重量百分比将颗粒直径Φ0.381mm30%-34%、Φ0.173mm10%-15%、Φ0.0065mm 60%-51%的比例配比,颗粒直径允许误差都为±10%。
3.如权利要求1所述的一种高纯石英坩埚的制造方法,其特征在于:按重量百分比将颗粒直径Φ0.381mm 32%-36%、Φ0.173mm 10%-15%、Φ0.0065mm 58%-49%的比例配比,颗粒直径允许误差都为±10%。
4.如权利要求1所述的一种高纯石英坩埚的制造方法,其特征在于:按重量百分比将颗粒直径Φ0.381mm 35%-40%、颗粒0.173mm 10%-15%、颗粒0.0065mm55%-45%的比例配比,颗粒直径允许误差都为±10%。
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