[发明专利]一种十字形压电振子驱动微流体阀在审
申请号: | 201810830743.X | 申请日: | 2018-07-26 |
公开(公告)号: | CN110762234A | 公开(公告)日: | 2020-02-07 |
发明(设计)人: | 吴越;刘江伟 | 申请(专利权)人: | 长春隆美科技发展有限公司 |
主分类号: | F16K1/32 | 分类号: | F16K1/32;F16K31/02;B81B3/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 130000 吉林省长春*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 柔性支架 压电振子 柔性阀 弹性悬架 十字形 塞安装孔 阀座 流量调节 上下运动 伸缩运动 水平伸缩 弯曲变形 微流体阀 开闭阀 上表面 上端面 阀盖 竖直 粘接 放大 通电 驱动 传递 | ||
1.一种十字形压电振子驱动微流体阀,包括:阀座(1)、柔性支架(2)、阀盖(3)、压电振子(4)、弹性悬架(5)和柔性阀塞(6),其中:所述阀座(1)上布置有流体入口(11)和流体出口(12),所述流体入口(11)位于所述阀座(1)的中心位置;所述阀盖(3)与所述阀座(1)直径相同且与所述阀座(1)连接形成密封腔体;所述柔性支架(2)为长方体,高度方向的尺寸大于长度方向的尺寸大于宽度方向的尺寸,且在以长、高组成的两侧面对称布置有第一圆弧凹槽(21)和第二圆弧凹槽(22);所述柔性支架(2)布置有矩形凹槽(23),且所述矩形凹槽(23)位于第二圆弧凹槽(22)的圆弧面的上半部分位置,且所述凹槽底面平行于所述柔性支架(2)的以长、高组成的侧面;所述四个柔性支架(2)布置于所述阀座(1)的上表面,以所述阀座(1)中心轴线为阀中心线,第二圆弧凹槽(22)朝向阀中心线,第一圆弧凹槽(21)远离阀中心线,且所述四个柔性支架(2)沿圆周方向相间90°均布;所述压电振子(4)为十字形,粘接在所述四个柔性支架(2)的上端面;所述弹性悬架(5)为十字形,四个自由端布置于所述四个柔性支架(2)上的矩形凹槽(23)内;所述弹性悬架(5)的中心部分布置有柔性阀塞安装孔(51),将所述柔性阀塞(6)固定于所述柔性阀塞安装孔(51)内。
2.根据权利要求1所述的十字形压电振子驱动微流体阀,其特征在于:所述压电振子(4)采用由4片压电薄片材料(41)粘贴在十字形的弹性基板(42)上形成的压电振子。
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