[发明专利]一种二维矢量扫描微镜有效
| 申请号： | 201810831509.9 | 申请日： | 2018-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN110764253B | 公开（公告）日： | 2022-04-08 |
| 发明（设计）人： | 沈文江;余晖俊;崔亚春;李帆雅 | 申请（专利权）人： | 中科融合感知智能研究院（苏州工业园区）有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/10 | 分类号： | G02B26/10 |
| 代理公司： | 苏州思睿晶华知识产权代理事务所(普通合伙) 32403 | 代理人： | 吴碧骏 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州工业园区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 二维 矢量 扫描 | ||
1.一种二维矢量扫描微镜，其特征在于，包括外围框架、设于所述外围框架内的内框架、连接所述外围框架和所述内框架的第一扭转梁、设于所述内框架内的微反射镜及连接所述内框架和所述微反射镜的第二扭转梁，其中，所述内框架可绕所述第一扭转梁旋转，所述微反射镜可绕所述第二扭转梁旋转；
其中，所述二维矢量扫描微镜还包括用于驱动所述内框架和所述微反射镜旋转的磁组和线圈组，所述磁组包括设于所述内框架下方的第一磁组和设于所述微反射镜下方的第二磁组；
所述线圈组包括设于所述内框架背面且与所述第一磁组相对的第一驱动线圈组和设于所述微反射镜背面且与所述第二磁组相对的第二驱动线圈组；
所述第一磁组与所述第一驱动线圈组用于配合使所述内框架绕所述第一扭转梁旋转；所述第二磁组与所述第二驱动线圈组用于配合使所述反射镜绕所述第二扭转梁旋转；
所述第一磁组包括第一磁体，所述第二磁组包括第二磁体；所述第一驱动线圈组包括与所述第一磁体相对的第一驱动线圈，所述第二驱动线圈组包括与所述第二磁体相对的第二驱动线圈；
所述第一磁体与所述第一驱动线圈用于配合使所述内框架绕所述第一扭转梁旋转；所述第二磁体与所述第二驱动线圈用于配合使所述微反射镜绕所述第二扭转梁旋转；
每个所述第一磁组包括多个所述第一磁体，每个所述第一磁组的所述第一磁体位于所述第一扭转梁的一侧；所述第一驱动线圈设有多个，每个所述第一驱动线圈与一所述第一磁体相对，每个所述第一驱动线圈与对应的所述第一磁体之间形成的作用力方向相同；
每相邻的两个所述第一磁体的磁极方向相反。
2.根据权利要求1所述的二维矢量扫描微镜，其特征在于，所述第一磁组和所述第一驱动线圈组均设有两组，两组所述第一磁组和所述第一驱动线圈分别位于所述第一扭转梁的两侧，且两组中所述第一磁组与第一驱动线圈组之间形成的作用力方向相反。
3.根据权利要求2所述的二维矢量扫描微镜，其特征在于，位于所述第一扭转梁的两侧的所述第一磁组和所述第一驱动线圈组关于所述第一扭转梁对称。
4.根据权利要求1～3任意一项所述的二维矢量扫描微镜，其特征在于，所述第二磁体设有多个，多个所述第二磁体分别位于所述第二扭转梁的两侧；所述第二驱动线圈设有多个，每一所述第二驱动线圈与一所述第二磁体相对，其中，位于所述第二扭转梁同侧的所述第二驱动线圈与所述第二磁体之间的作用力相同，位于所述第二扭转梁不同侧的所述第二驱动线圈与所述第二磁体之间的作用力相反。
5.根据权利要求4所述的二维矢量扫描微镜，其特征在于，位于所述第二扭转梁两侧的所述第二磁体关于所述第二扭转梁对称设置。
6.根据权利要求4所述的二维矢量扫描微镜，其特征在于，每相邻的两个所述第二磁体的磁极方向相反。
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