[发明专利]生产单晶硅片用制绒切割装置

权利要求书

1.生产单晶硅片用制绒切割装置，其特征在于：包括机架（1），机架（1）上设置有两条相互对称设置的电动滑轨（2），两条电动滑轨（2）之间设置有多个均匀分布的置物框（3）；电动滑轨（2）的一侧设置有移动平台（4），移动平台（4）上连接有第一液压缸（5）；移动平台（4）的顶面上安装有减震台（6），减震台（6）上安装有高速电机（7）；高速电机（7）上安装有转动轴（8），转动轴（8）上安装有清洗液进管（9），清洗液进管（9）的一侧设置有制绒液进管（10）；转动轴（8）上安装有多个均匀分布的金刚石锯片（11），金刚石锯片（11）的边缘处设置有金刚线（12）；金刚石锯片（11）的两侧面上均设有第一凹槽（13），每个第一凹槽（13）内均设置有多个清洗液通道（14）和制绒液通道（15）；每个清洗液通道（14）均与清洗液进管（9）连接，每个制绒液通道（15）均与制绒液进管（10）连接；所述电动滑轨（2）的一端连接有自动转向收集装置（29）；所述移动平台（4）的移动路径上设置有第一感应器（16）和第二感应器（17）；所述电动滑轨（2）上对应移动平台（4）中部的位置处设置有红外检测装置（42）；所述自动转向收集装置（29）包括输送平台（55），输送平台（55）上安装有呈蜂窝状排列的转向框（56）；每个转向框（56）内均安装有第三电机（57），每个第三电机（57）上均连接有第一转向轮（58）；每个第三电机（57）的一侧均设置有第四电机（59），另一侧均设置有第五电机（60）；每个第四电机（59）上均连接有第二转向轮（61）；每个第五电机（60）上均连接有第三转向轮（62）；输送平台（55）的一端均设置有送料通道（63），每个送料通道（63）的一端连接有集料框（64）；集料框（64）内设置有基板（65），基板（65）与集料框（64）的底面之间设置有多个均匀分布的缓冲弹簧（66），每个缓冲弹簧（66）上均套接有伸缩管（67）。

2.根据权利要求1所述的生产单晶硅片用制绒切割装置，其特征在于：所述置物框（3）的两侧壁上设有多条均匀分布的切割槽（30），置物框（3）的底面上设有多条均匀分布的第一梳齿（31）。

3.根据权利要求1所述的生产单晶硅片用制绒切割装置，其特征在于：所述机架（1）的一侧面上安装有控制器（43），所述电动滑轨（2）、第一液压缸（5）、高速电机（7）、第一感应器（16）、第二感应器（17）和红外检测装置（42）均与控制器（43）电性连接。

4.根据权利要求1所述的生产单晶硅片用制绒切割装置，其特征在于：所述第三电机（57）、第四电机（59）和第五电机（60）呈三角形分布。

5.根据权利要求1至4中任一权利要求所述的生产单晶硅片用制绒切割装置，其特征在于：所述每个清洗液通道（14）均相互连通，每个制绒液通道（15）也均相互连通；所述转动轴（8）上安装有防护罩（68），转动轴（8）的下方设置由第二集液槽（69）。