[发明专利]激光三角法透镜中心厚度测量装置及其测量方法有效

专利信息
申请号: 201810834066.9 申请日: 2018-07-26
公开(公告)号: CN108981593B 公开(公告)日: 2020-04-28
发明(设计)人: 刘丙才;田爱玲;岳鑫;王红军;朱学亮;高珂 申请(专利权)人: 西安工业大学
主分类号: G01B11/06 分类号: G01B11/06
代理公司: 西安新思维专利商标事务所有限公司 61114 代理人: 黄秦芳
地址: 710032 陕*** 国省代码: 陕西;61
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摘要:
搜索关键词: 激光 三角 透镜 中心 厚度 测量 装置 及其 测量方法
【权利要求书】:

1.激光三角法透镜中心厚度测量装置,其特征在于,所述测量装置包括激光光源(1)、分束棱镜(2)、透镜装调机构(8)、分划板(3)、视频监视器(4)、第一CCD成像系统(5)和第二CCD成像系统(6),所述透镜装调机构(8)上设置待测透镜(7);

所述待测透镜(7)、分束棱镜(2)、分划板(3)和视频监视器(4)依次沿光轴竖直设置,在分束棱镜(2)的一侧设置所述激光光源(1);所述第一CCD成像系统(5)和第二CCD成像系统(6)对称设置于待测透镜(7)的斜上方和斜下方,所述透镜装调机构(8)包括倾斜调整部和旋转测量部。

2.根据权利要求1所述激光三角法透镜中心厚度测量装置,其特征在于,所述分划板(3)为十字分划板。

3.根据权利要求1所述激光三角法透镜中心厚度测量装置,其特征在于,测量方法如下:

步骤一:将待测透镜(7)安装在透镜装调机构(8)上;

步骤二:打开激光光源(1),激光光源(1)发出的激光经过分束棱镜(2)转向后落在待测透镜(7)上,在待测透镜(7)的上、下表面分别发生反射和散射,待测透镜(7)上、下表面的反射光经分束棱镜(2)后到达分划板(3),在分划板(3)上形成激光点,视频监视器(4)接收激光点信号后通过激光点在分划板(3)上的位置判断待测透镜(7)的偏心和倾斜误差,对待测透镜(7)的偏心和倾斜误差进行调整;

步骤三:待测透镜(7)的上表面散射光由第一CCD成像系统(5)接收成像,通过三角定位方法获得待测透镜上表面M‘到待测透镜(7)基准平面M的距离;待测透镜(7)的下表面散射光由第二CCD成像系统(6)接收成像,通过三角定位方法获得下表面M“到待测透镜基准平面M的距离,最终测量计算得待测透镜(7)的中心厚度。

4.根据权利要求3所述激光三角法透镜中心厚度测量装置,其特征在于,所述步骤二中,待测透镜(7)偏心和倾斜误差的判断方法如下:

如果视频监视器(4)上接收到由待测透镜(7)上、下表面反射至分划板上的两个激光点重叠于分划板(3)的正中心位置,且当旋转测量部带动待测透镜(7)沿其中轴旋转时,两个重叠的激光点位置不发生改变,表明待测透镜(7)安装于正位状态;

如果视频监视器(4)上接收到由待测透镜(7)上、下表面反射至分划板上的两个激光点独立存在,且偏离分划板(3)的中心位置,当旋转测量部带动待测透镜(7)沿其中轴旋转时,两个激光点的位置不发生改变,表明待测透镜(7)仅存在偏心误差;

如果视频监视器4上接收到由待测透镜(7)上、下表面反射至分划板上的两个激光点独立存在,且偏离分划板(3)的中心位置,当旋转测量部带动待测透镜(7)沿其中轴旋转时,两个激光点会绕着分划板(3)的中心旋转,表明待测透镜(7)仅存在倾斜误差。

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