[发明专利]一种基于非晶合金的铍镜镜面层及其制备方法

权利要求书

1.一种基于非晶合金的铍镜镜面层制备方法，其特征在于，在压力条件下，将所述非晶合金加热至过冷液相温区，使所述非晶合金热塑成形，填充入铍镜镜坯表面经粗糙化后产生的微观孔洞中，进而获得基于非晶合金的铍镜镜面层。

2.根据权利要求1所述的一种基于非晶合金的铍镜镜面层制备方法，其特征在于，所述铍镜镜坯为等效直径不大于30mm的小面积铍镜镜坯或等效直径大于30mm的大面积铍镜镜坯。

3.根据权利要求2所述的一种基于非晶合金的铍镜镜面层制备方法，其特征在于，所述铍镜镜坯为小面积铍镜镜坯时，包括以下步骤：

步骤1.将所述铍镜镜坯表面粗糙化，产生微观孔洞；

步骤2.取抛光硅片、非晶合金的薄片与经步骤1处理后的铍镜的镜坯依次堆叠，再将堆叠物同时加热至所述非晶合金的过冷液相温区，施加压力并保压一段时间，所述非晶合金发生热塑性成形，朝向所述铍镜镜坯的一侧填充进入铍镜镜坯中的微观孔洞中，所述非晶合金朝向抛光硅片的一侧与抛光硅片贴合，形成镜面；

步骤3.将步骤2处理后的抛光硅片、非晶合金以及铍镜镜坯的混合物冷却后，去除抛光硅片，获得基于非晶合金的铍镜镜面层。

4.根据权利要求3所述的一种基于非晶合金的铍镜镜面层制备方法，其特征在于，所述步骤2中，非晶合金的薄片厚度不大于2mm；施加压力不大于400MPa；保压时间不超过10min。

5.根据权利要求3所述的一种基于非晶合金的铍镜镜面层制备方法，其特征在于，所述步骤2中，将抛光硅片、非晶合金薄片与经步骤1处理后的铍镜的镜坯依次堆叠，其中，所述抛光硅片的抛光面朝向非晶合金薄片一侧；所述抛光硅片的面积不小于铍镜镜坯的面积。

6.根据权利要求5所述的一种基于非晶合金的铍镜镜面层制备方法，其特征在于，所述步骤3中，通过机械剥离或热碱溶液腐蚀去除抛光硅片。

7.根据权利要求2所述的一种基于非晶合金的铍镜镜面层制备方法，其特征在于，所述铍镜镜坯为大面积铍镜镜坯时，包括以下步骤：

步骤1.将所述铍镜镜坯表面粗糙化，产生微观孔洞；

步骤2.取非晶合金的薄带平铺于经步骤1处理后的铍镜镜坯上，使用加热至所述非晶合金过冷液相温区的轧辊从非晶合金的薄带一侧压滚至另一侧，在所述压滚过程中，所述非晶合金与轧辊接触的地方被加热至过冷液相温区，并在压力的作用下发生热塑性成形，形成镜面结构，同时非晶合金与铍镜镜坯相对的一侧填充进入铍镜镜坯的微观孔洞中，进而获得基于非晶合金的铍镜镜面层。

8.根据权利要求1-7任意一项所述的一种基于非晶合金的铍镜镜面层制备方法，其特征在于，所述非晶合金包括Zr基、Ti基、Ni基非金合金中的任意一种或几种。

9.根据权利要求1-7任意一项所述的一种基于非晶合金的铍镜镜面层制备方法，其特征在于，采用包括线切割、电火花加工、激光打孔、化学腐蚀中任意一种或几种方法，使所述铍镜镜坯表面粗糙化，产生微观孔洞。

10.一种采用权利要求1-9任意一项所述的制备方法制成的铍镜镜面层。