[发明专利]一种高效型单晶硅片的切割生产线有效
申请号: | 201810834889.1 | 申请日: | 2018-07-26 |
公开(公告)号: | CN108789892B | 公开(公告)日: | 2020-06-02 |
发明(设计)人: | 邱小永 | 申请(专利权)人: | 浙江贝盛新材料科技有限公司 |
主分类号: | B28D5/02 | 分类号: | B28D5/02;B28D5/04;B28D7/00;B28D7/04;C30B33/10 |
代理公司: | 杭州新源专利事务所(普通合伙) 33234 | 代理人: | 李大刚 |
地址: | 313009 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 高效 单晶硅 切割 生产线 | ||
1.一种高效型单晶硅片的切割生产线,其特征在于:包括第一机架(1),第一机架(1)上设置有两条相互对称设置的电动滑轨(2),两条电动滑轨(2)之间设置有多个均匀分布的置物框(3);电动滑轨(2)的一侧设置有移动平台(4),移动平台(4)上连接有第一液压缸(5);移动平台(4)的顶面上安装有减震台(6),减震台(6)上安装有高速电机(7);高速电机(7)上安装有转动轴(8),转动轴(8)上安装有清洗液进管(9),清洗液进管(9)的一侧设置有制绒液进管(10);转动轴(8)上安装有多个均匀分布的金刚石锯片(11),金刚石锯片(11)的边缘处设置有金刚线(12);金刚石锯片(11)的两侧面上均设有第一凹槽(13),每个第一凹槽(13)内均设置有多个相互连通的清洗液通道(14),每个第一凹槽(13)内还均设置有多个相互连通的制绒液通道(15);清洗液通道(14)与清洗液进管(9)连接,制绒液通道(15)与制绒液进管(10)连接;所述电动滑轨(2)的一端连接有倾斜设置的滑动通道(16),滑动通道(16)的一端连接有第二机架(17);第二机架(17)从上至下依次分为上层、中层和底层,中层上安装有第一传送装置(18);第一传送装置(18)的一端与电动滑轨(2)连接,另一端与滑动通道(16)连接;第二机架(17)的底层上设置有旋转装置(19),旋转装置(19)上安装有第二液压缸(20);第二液压缸(20)上连接有第二推杆(21),第二推杆(21)上安装有第二固定板(22);第二液压缸(20)的一侧设置有第三液压缸(23),第三液压缸(23)上连接有第三推杆(24);第三推杆(24)的一端安装有第三固定板(25),第三固定板(25)与第二固定板(22)之间安装有梳齿框(26);第二机架(17)的上层安装有第二传送装置(27),第二传送装置(27)上安装有清洗室(28);第二传送装置(27)的一端连接有自动转向收集装置(29);所述自动转向收集装置(29)包括输送平台(55),输送平台(55)上安装有蜂窝状的转向框(56);每个转向框(56)内均安装有第三电机(57),每个第三电机(57)上均连接有第一转向轮(58);每个第三电机(57)的一侧均设置有第四电机(59),另一侧均设置有第五电机(60);每个第四电机(59)上均连接有第二转向轮(61);每个第五电机(60)上均连接有第三转向轮(62);输送平台(55)的一端均设置有送料通道(63),每个送料通道(63)的一端连接有集料框(64);集料框(64)内设置有基板(65),基板(65)与集料框(64)的底面之间设置有多个均匀分布的缓冲弹簧(66),每个缓冲弹簧(66)上均套接有伸缩管(67);所述第三电机(57)、第四电机(59)和第五电机(60)呈三角形分布。
2.根据权利要求1所述的一种高效型单晶硅片的切割生产线,其特征在于:所述置物框(3)的框体上设有多条均匀分布的切割槽(30),置物框(3)的底面上设有多条均匀分布的第一梳齿(31);所述梳齿框(26)上设有多条均匀分布的第二梳齿(32)。
3.根据权利要求1所述的一种高效型单晶硅片的切割生产线,其特征在于:所述第一传送装置(18)包括第一主动轴(33),第一主动轴(33)上连接有第一电机(34);第一主动轴(33)的一侧设置有第一从动轴(35),第一从动轴(35)与第一主动轴(33)之间连接有两条相互平行设置的第一滑轨(36);第一滑轨(36)一侧设置有第一红外检测装置(37);所述第二传送装置(27)包括第二主动轴(38),第二主动轴(38)上连接有第二电机(39);第二主动轴(38)的一侧设置有第二从动轴(40),第二从动轴(40)与第二主动轴(38)之间连接有两条相互平行设置的第二滑轨(41);所述电动滑轨(2)上对应移动平台(4)中部的位置处设置有第二红外检测装置(42)。
4.根据权利要求3所述的一种高效型单晶硅片的切割生产线,其特征在于:所述第二机架(17)的一侧面上安装有控制器(43),所述第二液压缸(20)、第三液压缸(23)、第一电机(34)、第一红外检测装置(37)、第二电机(39)和第二红外检测装置(42)均与控制器(43)电性连接。
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