[发明专利]用于太赫兹波探测的器件用衬底前驱体及其制备方法

权利要求书

1.一种用于太赫兹波探测的器件用衬底前驱体的制备方法，包括以下步骤：

（1）在氮气保护下，混合六氯铱酸铵、水合硝酸镍、钼酸铵、乙醇和丙酸；然后回流搅拌5分钟，然后加入氨水；反应10分钟后自然冷却至室温，加入乙酸乙酯聚沉离心；将离心沉淀物水洗后分散于乙醇中得分散体系；然后加入硝酸锶、硝酸钴、水，搅拌10分钟加入三茂钐，搅拌1小时，得到支撑层前驱体；

（2）在分散体系中加入聚乙烯醇、双氧水、四苯基卟啉铁，50℃搅拌1小时，然后加入萘甲酰乙酸乙酯、邻苯二甲酸二丁酯，回流搅拌10分钟，然后浓缩得到固含量80%的浓缩物；将浓缩物进行超重力处理；然后冷冻干燥，得到纳米粉；所述超重力处理的转速为35000～40000rpm；浓缩物的流量为80～90mL/min；

（3）将氧化石墨烯、环氧树脂加入丙酮，回流搅拌20分钟后加入N-乙烯基咔唑与二苯基硅二醇，继续搅拌10分钟，然后加入偶氮二异丁腈，搅拌30分钟，得到隔离层前驱体；

（4）将纳米粉加入隔离层前驱体中，搅拌5分钟后加入碳纳米管，搅拌10分钟得到加强层前驱体；

（5）所述用于太赫兹波探测的器件用衬底前驱体包括隔离层前驱体、加强层前驱体、支撑层前驱体。

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，六氯铱酸铵、水合硝酸镍、钼酸铵、乙醇、丙酸、氨水、硝酸锶、硝酸钴、水、三茂钐的质量比为15∶45∶30∶150∶80∶50∶5∶10∶100∶5；离心沉淀物、聚乙烯醇、双氧水、四苯基卟啉铁、萘甲酰乙酸乙酯、邻苯二甲酸二丁酯的质量比为15∶55∶5∶0.1∶40∶50；氧化石墨烯、环氧树脂、丙酮、N-乙烯基咔唑、二苯基硅二醇、偶氮二异丁腈的质量比为3∶100∶150∶15∶30∶3；纳米粉、隔离层前驱体的质量比为78∶100。

3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述氨水的质量浓度为8.5%；所述聚乙烯醇的分子量为1500～2000。

4.根据权利要求1所述的制备方法制备的用于太赫兹波探测的器件用衬底前驱体。