[发明专利]照明装置、运行照明装置的方法和照明装置的应用

权利要求书

1.一种照明装置，具有：

用于发射照明光(3)的光源(2)，

具有多个微镜执行器(1)的微镜阵列(30)，

照明光学件(8)，和

具有敏感的传感器表面(32)的光学传感器单元(7)，

其中，由所述光源(2)发射的所述照明光(3)引导到所述微镜执行器(1)上并且在所述微镜执行器处反射，并且利用时间积累的所述反射，

输入射束(9)在相应的转入位置上由所述微镜执行器(1)反射通过所述照明光学件(8)以用于照明应用，并且

输出射束(10)在相应的转出位置上由所述微镜执行器(1)反射经过所述照明光学件(8)旁边，

其中，所述光学传感器单元(7)布置在所述输出射束(10)中，以用于检测至少在故障情况下在所述输出射束(10)中引导的射线，

并且其中，所述光学传感器单元(7)被定向，以使所述敏感的传感器表面(32)倾斜于所述射线的主入射方向(33)，并且其中，在所述输出射束(10)中布置有至少一个分束器(35)，所述分束器包括带平行平面的板，该板能移动地支承在所述输出射束(10)中，以能够利用移动来改变该板的、在所述输出射束(10)中各自被照射的区域。

2.根据权利要求1所述的照明装置，其中，所述主入射方向(33)与所述敏感的传感器表面(32)形成至少10°并且最多80°的倾斜角(34)。

3.根据权利要求1或2所述的照明装置，其中，在所述输出射束(10)中布置有成像光学件(12)，所述成像光学件将所述微镜阵列(30)的执行器表面(31)映射到所述敏感的传感器表面(32)上。

4.根据权利要求3所述的照明装置，其中，在所述输出射束(10)中引导的所述照明光在所述微镜阵列(30)处具有主出射方向，所述主出射方向倾斜于所述微镜阵列(30)的所述执行器表面(31)。

5.根据权利要求1所述的照明装置，其中，所述光学传感器单元(7)设计用于在所述敏感的传感器表面(32)上进行分辨方位的射线检测。

6.根据权利要求5所述的照明装置，其中，所述光学传感器单元是CMOS传感器或者CCD传感器。

7.根据权利要求1所述的照明装置，其中，所述光源(2)具有用于发射泵浦射线(21)的泵浦射线源(20)、以及用于将所述泵浦射线(21)至少部分地转换为转换光的发光材料元件(22)，所述发光材料元件至少以一定比例形成所述照明光(3)。

8.根据权利要求7所述的照明装置，其中，所述发光材料元件(22)以透射方式运行。

9.根据权利要求1所述的照明装置，其中，所述敏感的传感器表面(32)或者所述光学传感器单元(7)的壳体的、遮盖所述敏感的传感器表面(32)的窗口配备有形成另外的分束器的涂层。

10.根据权利要求1所述的照明装置，其中，在所述输出射束(10)中引导的所述照明光的至少一部分(36)经由所述分束器引导到吸收器处。

11.根据权利要求10所述的照明装置，其中，所述吸收器是射束阱(37)。

12.根据权利要求7所述的照明装置，其中，所述分束器(35)设置用于，经由所述分束器至少在故障情况下将所述泵浦射线(21)引导到所述敏感的传感器表面(32)上。

13.根据权利要求1所述的照明装置，其中，所述分束器具有取决于波长的镜层和/或取决于偏振的镜层。

14.根据权利要求1所述的照明装置，所述照明装置具有评估单元，所述评估单元设置用于将由所述光学传感器单元(7)检测到的传感器信号与额定值比较。