[发明专利]一种ZnO纳米花及其制备方法

权利要求书

1.一种ZnO纳米花的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

(1)醋酸锌、碳酸锌混合溶液的制备：将醋酸锌、碳酸锌、乙醇按0.1-0.8g:0.035-0.3g:30-150mL的比例制备混合溶液，搅拌30-80min，备用；

(2)混合薄膜的制备：首先在衬底上滴加5-15滴步骤(1)制备的混合溶液，然后第一次利用旋涂仪以350-500r/min的速度旋转衬底30-80s，使混合溶液均匀铺展在衬底上，接着第二次以1200-1800r/min的速度旋转衬底10-50s，接着第三次以3500-5500r/min的速度旋转衬底50-150s，并在旋转过程中滴加3-15滴混合溶液，制得混合薄膜，备用；

(3)高温烧结：将步骤(2)制备好的混合薄膜以每分钟3-8℃的速率升温到350-650℃，保温0.5-3h，制得所述ZnO纳米花。

2.根据权利要求1所述的一种ZnO纳米花的制备方法，其特征在于，步骤(1)中醋酸锌、碳酸锌、乙醇按0.1-0.5g:0.035-0.2g:30-120mL的比例制备混合溶液。

3.根据权利要求1所述的一种ZnO纳米花的制备方法，其特征在于，步骤(1)中醋酸锌、碳酸锌、乙醇按0.5g:0.2g:120mL的比例制备混合溶液。

4.根据权利要求1所述的一种ZnO纳米花的制备方法，其特征在于，步骤(2)中第一次利用旋涂仪以400-450r/min的速度旋转衬底30-60s，第二次以1200-1600r/min的速度旋转衬底10-30s，第三次以4000-5000r/min的速度旋转衬底60-120s。

5.根据权利要求1所述的一种ZnO纳米花的制备方法，其特征在于，步骤(2)中衬底包括石英、硅片、蓝宝石、金属中的一种。

6.根据权利要求1所述的一种ZnO纳米花的制备方法，其特征在于，步骤(3)中以每分钟3-5℃的速率升温到400-600℃。

7.根据权利要求1所述的一种ZnO纳米花的制备方法，其特征在于，步骤(3)中的保温时间为1-2h。