[发明专利]一种基板配向检测方法及其检测装置

说明书

本发明提供一种基板配向检测方法及其检测装置，包括如下步骤：S1：在玻璃基板的切角处设置第一标记；S2：对玻璃基板上需要涂布配向液的区域涂布配向液；在玻璃基板具有第一标记的区域涂布紫外光感光材料；S3：对玻璃基板上配向液和紫外光感应材料进行加热烘烤固化；S4：用紫外光透过具有第二标记的掩膜板照射到紫外光感光材料，在玻璃基板上形成与第二标记形状相同的第三标记；S5：掩膜板上方设有图像监控装置，用于监控对比第一标记和第三标记是否匹配。本发明通过配向前在基板上形成第一标记，配向后在基板上形成第三标记，通过比对第一标记和第三标记是否匹配，从而可以判断基板配向是否异常，能够及时发现问题并拦截异常品。

技术领域

本发明涉及显示装置制造领域，特别涉及一种基板配向检测方法及其检测装置。

背景技术

目前在TFT-LCD液晶面板的制作过程中，为了使液晶分子按照一定的方向排列，需要在基板的内表面形成配向膜。相较于摩擦配向技术，光配向技术因其特有的配向均匀性高、无污染、对比度高等优点被广泛利用，使用的UV光波长主要有254nm、313nm、365nm。虽然光配向技术拥有诸多优点，但在实际的生产过程中，由于参数设置错误或机台异常，常发生基板配向方向错误或者基板未配向等问题，而这种基板配向异常只有到点灯检查时才会被发现，未能及时发现问题，从而导致大量异常品出现。

发明内容

本发明的目的是提供一种基板配向检测方法及其检测装置，解决现有生产工艺不能检查基板配向是否异常的问题。

本发明提供一种基板配向检测方法，包括如下步骤：

S1：在玻璃基板的切角处设置第一标记，所述第一标记代表玻璃基板的理论配向方向；

S2：对玻璃基板上需要涂布配向液的区域涂布配向液；在玻璃基板具有第一标记的区域涂布紫外光感应材料；

S3：对玻璃基板上配向液和紫外光感应材料进行加热烘烤固化；

S4：玻璃基板第一标记对应位置的上方设有具有第二标记的掩模板，在玻璃基板经过紫外光进行光配向时，紫外光透过掩膜板第二标记照射到紫外光感应材料，在玻璃基板上形成与第二标记形状相同的第三标记，第三标记代表玻璃基板实际配向方向；

S5：掩膜板上方设有图像监控装置，用于监控对比第一标记和第三标记；若第一标记与第三标记完全重合，则玻璃基板配向正确；若第一标记与第三标记不匹配，则玻璃基板配向方向错误；若没有形成第三标记，则玻璃基板未进行配向。

进一步，所述第一标记、第二标记和第三标记均为带箭头形状的图形。

进一步，所述第一标记的箭头的方向代表玻璃基板的理论配向方向。

进一步，所述玻璃基板为阵列基板，第一标记与阵列基板上栅极或者源极同时形成。

进一步，所述玻璃基板为彩膜基板，第一标记与彩膜基板上的黑色矩阵同时形成。

进一步，所述第一标记经过涂布、曝光、显影、蚀刻以及剥离工艺形成。

本发明还提供一种基板配向检测装置，玻璃基板进行光配向处理，其包括：位于玻璃基板的切角处且经过紫外光感应材料处理的第一标记、位于掩膜版上的且与第一标记对应的第二标记以及位于掩膜版上方的图像监控装置，当光配向时紫外光透过掩膜板的第二标记照射到玻璃基板的紫外光感应材料，在玻璃基板上形成与第二标记形状相同的第三标记，图像监控装置监控对比第一标记和第三标记；若第一标记与第三标记完全重合，则玻璃基板配向正确；若第一标记与第三标记不匹配，则玻璃基板配向方向错误；若没有形成第三标记，则玻璃基板未进行配向。

进一步，所述第一标记、第二标记和第三标记均为带箭头形状的图形。

进一步，当玻璃基板为阵列基板，第一标记与阵列基板上的栅极或者源极同时形成。