[发明专利]药液供给装置、基板处理装置、药液供给方法、以及基板处理方法

权利要求书

1.一种药液供给装置，其将药液供给至用于利用药液对基板进行处理的处理部，

上述药液供给装置的特征在于，具备：

供给流路，其一端与常温的上述药液的供给源连接，并且另一端与上述处理部连接，且从上述供给源向上述处理部引导上述药液；

第一过滤器，其设于上述供给流路，且除去从上述供给源导入上述供给流路的常温的上述药液中的颗粒；

加热部，其在上述供给流路中的比上述第一过滤器靠上述处理部侧的部分加热上述药液；以及

第二过滤器，其设于上述供给流路中的比上述第一过滤器靠上述处理部侧的部分，且除去被上述加热部加热并在上述供给流路朝向上述处理部流动的高温的上述药液中的颗粒，

上述第一过滤器为亲水性过滤器，上述第二过滤器为疏水性过滤器。

2.根据权利要求1所述的药液供给装置，其特征在于，

上述供给流路还具备回流配管，上述回流配管在比上述加热部靠上述供给源侧的部分从上述供给流路分支，并在比该分支的部分靠上述供给源侧再次与上述供给流路连接，

上述第一过滤器设于上述供给流路的一部分和上述回流配管所形成的环状的循环流路。

3.根据权利要求2所述的药液供给装置，其特征在于，

还具备阀，上述阀能够在比上述加热部靠上述供给源侧对上述供给流路中的比上述循环流路靠上述处理部侧的部分所形成的流路进行开闭。

4.根据权利要求2所述的药液供给装置，其特征在于，

上述供给流路包括形成上述循环流路的一部分且能够储存上述药液的罐，

上述回流配管从上述供给流路中的比上述罐靠上述处理部侧的部分分支且与上述罐连接。

5.根据权利要求1所述的药液供给装置，其特征在于，

上述供给流路还具备高温药液用的回流配管，上述高温药液用的回流配管从上述供给流路中的比上述加热部靠上述处理部侧的部分分支，并在比该分支的部分靠上述供给源侧再次与上述供给流路连接，

上述加热部及上述第二过滤器设于上述供给流路的一部分和上述高温药液用的回流配管所形成的高温药液用的环状的循环流路。

6.根据权利要求1所述的药液供给装置，其特征在于，

上述第一过滤器的孔径比上述第二过滤器的孔径小。

7.一种基板处理装置，其特征在于，具备：

权利要求1至6中任一项所述的药液供给装置；以及

作为供给对象的处理部，

上述处理部将从上述药液供给装置供给的药液供给至基板来对该基板进行处理。

8.一种药液供给方法，将药液供给至用于利用药液对基板进行处理的处理部，

上述药液供给方法的特征在于，具备：

第一除去工序，其通过设于供给流路的第一过滤器除去从供给源导入供给流路的常温的上述药液中的颗粒，上述供给流路的一端与常温的上述药液的上述供给源连接，并且另一端与上述处理部连接，且从上述供给源向上述处理部引导上述药液；

加热工序，其通过加热部在上述供给流路中的比上述第一过滤器靠上述处理部侧的部分加热上述药液；以及

第二除去工序，其利用设于上述供给流路中的比上述第一过滤器靠上述处理部侧的部分的第二过滤器除去通过上述加热工序加热并在上述供给流路朝向上述处理部流动的高温的上述药液中的颗粒，

上述第一过滤器通过进行滤除并且进行化学吸附来除去颗粒，上述第二过滤器通过进行滤除来除去颗粒，上述第二过滤器的除去颗粒的能力的温度依赖性比上述第一过滤器小。

9.根据权利要求8所述的药液供给方法，其特征在于，

上述第一除去工序是使常温的上述药液沿着上述供给流路所包括的环状的循环流路循环，并且利用设于上述循环流路的上述第一过滤器除去上述颗粒的工序，

上述循环流路由回流配管和上述供给流路的一部分形成，

上述回流配管是从上述供给流路中的比上述加热部靠上述供给源侧的部分分支并在比该分支的部分靠上述供给源侧再次与上述供给流路连接的配管。