[发明专利]薄膜的检测装置与检测方法

权利要求书

1.一种薄膜的检测装置，其特征在于，所述检测装置包括：

公共单元(2)，包括多个公共电极(21)，其中至少两个所述公共电极(21)间隔设置；以及

检测单元(1)，与所述公共单元(2)在第一方向上相对且间隔设置，所述检测单元(1)包括多个沿第二方向依次排列的检出电极(11)，所述公共单元(2)和所述检测单元(1)之间的间隔为待测膜的传输通道，所述第二方向与所述第一方向垂直且与所述待测膜的移动方向垂直，

非正对公共电极为在第一平面上的投影与各所述检出电极(11)在所述第一平面上的投影均没有重叠部分的所述公共电极，所述第一平面垂直于所述第一方向，正对公共电极为在所述第一平面上的投影与至少部分所述检出电极(11)在所述第一平面上的投影具有重叠部分的所述公共电极，

多个所述公共电极(21)中有多个所述非正对公共电极，且至少两个所述非正对公共电极按照第三方向排列，所述第三方向与所述第二方向的夹角为θ，0θ≤90°，或者多个所述公共电极(21)中至少有一个所述非正对公共电极和至少一个正对公共电极(211)。

2.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，至少一个所述正对公共电极(211)在所述第一平面上的投影与覆盖各所述检出电极(11)在所述第一平面上的投影。

3.根据权利要求2所述的检测装置，其特征在于，至少两个所述公共电极(21)为非正对公共电极。

4.根据权利要求3所述的检测装置，其特征在于，在所述待测膜的移动方向上，所述正对公共电极(211)的两侧均设置有所述非正对公共电极，位于所述正对公共电极(211)的一侧的所述非正对公共电极为第一非正对公共电极(212)，位于所述正对公共电极(211)的另一侧的所述非正对公共电极为第二非正对公共电极(213)。

5.根据权利要求3所述的检测装置，其特征在于，在所述第二方向上，所述非正对公共电极的长度与所述正对公共电极(211)的长度相同。

6.根据权利要求3所述的检测装置，其特征在于，所述非正对公共电极在第二平面上的投影为第一投影，所述检出电极(11)在所述第二平面上的投影为第二投影，所述第一投影的中心和所述第二投影的中心的连线与所述待测膜的移动方向的夹角在40～50°之间，所述第二平面垂直于所述第一平面且垂直于所述第二方向。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的检测装置，其特征在于，各所述公共电极(21)到同一个所述检出电极(11)的最短距离相等。

8.根据权利要求1至6中任一项所述的检测装置，其特征在于，所述检测单元(1)包括多个沿所述第二方向排列的厚度传感芯片，各所述厚度传感芯片包括多个沿所述第二方向排列的所述检出电极(11)。

9.根据权利要求1至6中任一项所述的检测装置，其特征在于，

所述公共单元(2)还包括公共基板(20)，各所述公共电极(21)设置在所述公共基板(20)的一个表面上；

所述检测单元(1)还包括检测基板(10)，所述检测基板(10)与所述公共基板(20)在所述第一方向相对且间隔设置，各所述检出电极(11)设置在所述检测基板(10)的靠近所述公共电极(21)的表面上，所述检出电极(11)与所述公共电极(21)之间的间隔为所述传输通道。

10.根据权利要求9所述的检测装置，其特征在于，

所述公共单元(2)还包括设置在所述公共基板(20)的远离所述公共电极(21)的表面上的公共控制部(22)，所述公共控制部(22)用于控制所述公共电极(21)的电压的加载；

所述检测单元(1)还包括设置在所述检测基板(10)的远离所述检出电极(11)的面上的检测控制部(12)，所述检测控制部(12)至少用于控制检出电极(11)的检测信号的输出。