[发明专利]压电驱动器、光纤扫描模组和投影装置

权利要求书

1.一种压电驱动器，其特征在于，包括：

基板；

压电层，所述压电层贴合于所述基板；

反馈压电层，所述反馈压电层贴合于所述基板或所述压电层上，且与所述压电层绝缘设置。

2.如权利要求1所述的压电驱动器，其特征在于，所述基板包括相对设置的第一表面和第二表面，所述压电层包括贴合于所述第一表面的第一压电层和贴合于所述第二表面并与所述第一压电层相对设置的第二压电层，所述反馈压电层包括贴合于所述第一表面的第一反馈压电层，所述第一压电层与所述第一反馈压电层沿垂直于所述第一压电层伸缩方向的方向并排绝缘设置。

3.如权利要求2所述的压电驱动器，其特征在于，所述第一反馈压电层的宽度小于所述第一压电层的宽度。

4.如权利要求3所述的压电驱动器，其特征在于，所述反馈压电层还包括贴合于所述第二表面并与所述第一反馈压电层相对设置的第二反馈压电层，所述第二压电层与所述第二反馈压电层并排绝缘设置。

5.如权利要求1所述的压电驱动器，其特征在于，压电驱动器为单晶片压电驱动器，所述基板包括相对设置的第一表面和第二表面，所述压电层包括贴合于所述第一表面的第一压电层；所述反馈压电层贴合于所述第一表面且与所述第一压电层并排绝缘设置，或所述反馈压电层贴合于所述第二表面且与第一压电层绝缘。

6.如权利要求1至5任一项所述的压电驱动器，其特征在于，所述压电层与所述反馈压电层之间，采用间隔设置的方式绝缘或采用中间填充绝缘介质的方式绝缘。

7.如权利要求2至5任一项所述的压电驱动器，其特征在于，所述压电层和所述反馈压电层通过胶粘或焊接或烧铸或连接件接合等方式固定于所述基板表面。

8.如权利要求1所述的压电驱动器，其特征在于，所述压电层为堆叠型压电驱动层，述反馈压电层设置在所述堆叠型压电驱动层上，且与所述堆叠型压电驱动层绝缘设置。

9.如权利要求1～5和8任一项所述的压电驱动器，其特征在于，所述反馈压电层与压电层为相同材质或不同材质。

10.如权利要求9所述的压电驱动器，其特征在于，所述反馈压电层为压电薄膜。

11.一种光纤扫描模组，包括扫描光纤和光纤驱动器，其特征在于，所述光纤驱动器包括权利要求1～10任一项所述的压电驱动器，所述扫描光纤固定于所述光纤驱动器上并沿所述光纤驱动器的延伸方向延伸形成悬臂；所述压电驱动器的压电层用于接收输入电压，所述压电驱动器的反馈压电层用于输出反馈电信号。

12.一种投影装置，其特征在于，包括一组或多组如权利要求11所述的光纤扫描模组。