[发明专利]物镜防污染装置在审
申请号: | 201810844511.X | 申请日: | 2018-07-27 |
公开(公告)号: | CN110764368A | 公开(公告)日: | 2020-02-07 |
发明(设计)人: | 王锋;郁健;湛宾洲;章富平;张洪博;韦婧宇;张丽;王伟伟 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20;G02B27/00 |
代理公司: | 11332 北京品源专利代理有限公司 | 代理人: | 胡彬 |
地址: | 201203 上海市浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 物镜 吹气口 壳体 防污染装置 吹气腔 通光孔 通气板 进气口 正压腔 无保护气体 保护气体 相对设置 光刻机 通气孔 透过率 镜片 连通 体内 保证 镜头 曝光 污染 | ||
1.一种物镜防污染装置(10),安装在物镜(20)的镜头上,所述物镜防污染装置(10)包括壳体(12),所述壳体(12)上开设有通光孔(14),其特征在于,还包括具有多个第一通气孔的第一通气板(13),所述第一通气板(13)设置在所述壳体(12)内,位于所述通光孔(14)的周围并与所述壳体(12)的外壳围绕形成吹气腔(121),所述吹气腔(121)与所述壳体(12)上的进气口(122)连通,所述吹气腔(121)具有两个吹气口,两个所述吹气口相对设置在所述通光孔(14)两侧,所述第一通气板(13)设置在所述吹气口处。
2.根据权利要求1所述的物镜防污染装置(10),其特征在于,所述物镜防污染装置(10)还包括具有多个第二通气孔的第二通气板(15),所述第二通气板(15)设置在所述吹气腔(121)内,且与所述第一通气板(13)平行设置,且所述第二通气孔的孔径大于所述第一通气孔的孔径。
3.根据权利要求2所述的物镜防污染装置(10),其特征在于,所述第二通气板(15)的数量为多个,多个所述第二通气板(15)平行间隔设置在所述吹气腔(121)内,且多个所述第二通气板(15)中,靠近所述第一通气板(13)的所述第二通气板(15)的所述第二通气孔的孔径小于远离所述第一通气板(13)的所述第二通气板(15)的所述第二通气孔的孔径。
4.根据权利要求2或3所述的物镜防污染装置(10),其特征在于,所述第一通气板(13)和所述第二通气板(15)均为微孔板。
5.根据权利要求1所述的物镜防污染装置(10),其特征在于,所述第一通气板(13)在所述壳体(12)的底板上倾斜设置。
6.根据权利要求5所述的物镜防污染装置(10),其特征在于,设所述壳体(12)的底板的法线为X方向,所述第一通气板(13)与所述X方向的夹角的最大值为:
其中:
θ为所述第一通气板(13)与所述X方向的夹角;
a为所述第一通气板(13)上最靠近所述壳体(12)的底板的第一通气孔的中心距所述物镜的镜片表面的垂直距离;
b为所述第一通气板(13)上最靠近所述壳体(12)的底板的第一通气孔的中心距所述物镜的镜片中心的水平距离。
7.根据权利要求6所述的物镜防污染装置(10),其特征在于,所述第一通气板(13)与所述第二方向的夹角的最小值为第一通气板(13)与所述X方向的夹角的最大值的0.8倍。
8.根据权利要求1所述的物镜防污染装置(10),其特征在于,还包括导流板(16),所述导流板(16)设置在所述吹气腔(121)内,所述导流板(16)位于所述进气口(122)和所述吹气口之间。
9.根据权利要求1所述的物镜防污染装置(10),其特征在于,两个所述吹气口距离所述进气口(122)的距离相同。
10.根据权利要求1所述的物镜防污染装置(10),其特征在于,还包括抽排挡板(17),所述抽排挡板(17)设置在所述吹气腔(121)与所述壳体(12)的侧壁之间,所述抽排挡板(17)、所述壳体(12)的侧壁和位于所述抽排挡板(17)和所述壳体(12)的侧壁之间的所述壳体(12)的底板围设成抽排腔(123),位于所述抽排挡板(17)和所述壳体(12)的侧壁之间的所述壳体(12)的底板上开设有多个抽排孔(1231),所述壳体(12)的侧壁上开设有抽排口(124),所述抽排孔(1231)和所述抽排口(124)均与所述抽排腔(123)连通。
11.根据权利要求1所述的物镜防污染装置(10),其特征在于,物镜防污染装置(10)还包括盖板(11),所述壳体与所述盖板之间通过固定柱(125)连接。
12.根据权利要求1所述的物镜防污染装置(10),其特征在于,所述壳体(12)向外侧延伸形成有凸耳(126),所述凸耳(126)上开设有安装孔。
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