[发明专利]一种硬质合金刀具表面复合金刚石薄膜涂层的制备方法

权利要求书

1.一种硬质合金刀具表面复合金刚石薄膜涂层的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1、将硬质合金刀具进行预处理，得到预处理硬质合金刀具；

S2、在预处理硬质合金刀具表面进行热丝化学气相沉积处理，得到到物料A；

S3、将物料A置于丙酮中超声洗涤，干燥，然后浸泡于Al₂O₃溶胶中，取出后干燥，再浸泡于SiO₂溶胶中，取出后进行热处理，得到硬质合金刀具表面复合金刚石薄膜涂层。

2.根据权利要去1所述硬质合金刀具表面复合金刚石薄膜涂层的制备方法，其特征在于，S1中，预处理步骤如下：将硬质合金刀具用砂纸打磨，然后置于酸性溶液A中超声处理10-12min，再置于碱性溶液B中超声处理6-8min，用丙酮清洗后置于金刚石微粉丙酮悬浊液中超声振荡15-18min，清洗干燥后得到预处理硬质合金刀具。

3.根据权利要去1或2所述硬质合金刀具表面复合金刚石薄膜涂层的制备方法，其特征在于，酸性溶液A由高锰酸钾溶液与双氧水按体积比为1.5-3:1组成。

4.根据权利要去1-3中任一项所述硬质合金刀具表面复合金刚石薄膜涂层的制备方法，其特征在于，碱性溶液B由浓度为18-25wt％氢氧化钠水溶液和浓度为2-5wt％氢氧化钙水溶液按体积比为3-5:1组成。

5.根据权利要去1-4中任一项所述硬质合金刀具表面复合金刚石薄膜涂层的制备方法，其特征在于，金刚石微粉丙酮悬浊液中金刚石微粉由粒度为4μm和粒度为8μm两部分按重量比为2-4:1-1.5组成。

6.根据权利要去1-5中任一项所述硬质合金刀具表面复合金刚石薄膜涂层的制备方法，其特征在于，S2中，热丝化学气相沉积参数如下：热丝温度为2300-2350℃，衬底温度为730-760℃，衬底摆动角为90°-180°，每分钟摆动3-4次，热丝与衬底之间的距离为6.5-8mm，甲烷流量为10-12sccm、氢气流量为600-700sccm，氩气流量200-220sccm，反应室内工作压力为150-200KPa，沉积时间为35-40min。

7.根据权利要去1-6中任一项所述硬质合金刀具表面复合金刚石薄膜涂层的制备方法，其特征在于，S3中，将物料A置于丙酮中超声洗涤，在80-90℃干燥，然后浸泡于Al₂O₃溶胶中1-2min，取出后在60-65℃干燥3-5min，再浸泡于SiO₂溶胶中1-2min。

8.根据权利要去1-7中任一项所述硬质合金刀具表面复合金刚石薄膜涂层的制备方法，其特征在于，S3中，热处理具体过程如下：将物料以1-2℃/min升温至90-95℃，保温35-45min，再以6-8℃/min升温至720-760℃，保温40-50min，再空冷至室温。