[发明专利]物镜光窗式法兰及采用该法兰的真空腔

权利要求书

1.一种物镜光窗式法兰，其特征在于，包括一法兰盘及一透镜，所述法兰盘中心具有一通孔，所述通孔形成一光路通道，所述透镜设置在所述光路通道内，形成光窗，所述透镜作为一光学系统的物镜前透镜使用；所述法兰盘的内壁具有一向外延伸的延伸段，所述透镜设置在所述延伸段的端部；其中所述法兰盘为一刀口法兰盘，所述刀口法兰盘的内侧具有一刀口；所述物镜光窗式法兰对应安装于一腔体的侧壁的开口处，所述法兰盘与所述腔体的外侧壁连接，所述透镜对应所述开口设置，以形成真空腔体的光窗；所述开口的侧壁为刀口状，其与所述物镜光窗式法兰的刀口压合一垫圈，进而密封所述开口处。

2.根据权利要求1所述的物镜光窗式法兰，其特征在于，所述透镜密封安装在所述通孔的侧壁上。

3.根据权利要求1所述的物镜光窗式法兰，其特征在于，所述透镜的边缘被一金属围圈包围，所述金属围圈与所述通孔的侧壁焊接。

4.根据权利要求1所述的物镜光窗式法兰，其特征在于，所述法兰盘上设置有多个连接孔，连接构件通过所述连接孔将所述法兰盘连接在外部装置上。

5.根据权利要求1所述的物镜光窗式法兰，其特征在于，所述物镜光窗式法兰还包括一物镜外壳，所述物镜外壳插入所述光路通道内，且所述透镜设置在所述物镜外壳的端部，作为所述物镜的前透镜使用。

6.一种真空腔，其特征在于，包括一腔体及一权利要求1～5任意一项所述的物镜光窗式法兰，在所述腔体的侧壁具有一开口，所述物镜光窗式法兰安装在所述开口处，所述法兰盘与所述腔体的外侧壁连接，所述透镜对应所述开口设置，以形成真空腔体的光窗；所述开口的侧壁为刀口状，其与所述物镜光窗式法兰的刀口压合一垫圈，进而密封所述开口处。